刘善群

作品数：10被引量：8H指数：1
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供职机构：中国电子科技集团第二十六研究所更多>>
发文主题：晶圆压电化学腐蚀抛光工艺键合更多>>
发文领域：电子电信一般工业技术电气工程更多>>
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用于压电单晶薄膜晶圆制备的键合面清洗技术研究
《压电与声光》2024年第5期700-703,728,共5页刘善群 丁雨憧 陈哲明 石自彬 龙勇 邹少红 庾桂秋 张莉 
高性能薄膜声表面波滤波器对压电单晶薄膜晶圆键合面的洁净度提出了严苛的要求。目前采用的常规清洗技术对因离子注入后而残留的大量颗粒等污染物的去除效率低,导致键合晶圆存在较多气泡或者空洞,因此提出了一种采用硫酸与过氧化氢混合...
关键词：压电单晶薄膜晶圆 清洗技术 离子注入 晶圆键合 表面洁净度 
压电陶瓷圆片单面研磨抛光工艺被引量：1
《压电与声光》2018年第4期585-588,共4页鄢秋娟 罗夏林 米佳 李洪平 谭桂娟 刘善群 唐运红 于新晓 张静雯 
介绍了一种在行星式双面磨抛设备上对压电陶瓷圆片进行单面研磨和抛光的工艺。在加工过程中,使用了自制的全水溶性粘接剂来粘接晶片,实现了圆片单面所有磨抛加工流程都在双面磨抛设备上进行。采用自制化学腐蚀液分段腐蚀控制圆片形貌(...
关键词：单抛晶片 双面研磨 双面抛光 化学腐蚀 水溶粘接剂 
通过热应力分析改善AOTF键合层附着力
《压电与声光》2017年第3期365-369,共5页陆川 鲜晓军 张银中 陈华志 杨华 刘伟 张永川 刘善群 
针对声光可调滤光器(AOTF)压电换能器和声光晶体键合后出现附着力差的问题开展分析,根据热应力理论计算AOTF键合层各层的热应力分布情况,提出通过增加过渡层改善键合层应力特性。当过渡层Au膜厚为200nm时,理论上键合层和声光晶体间的热...
关键词：声光可调滤光器 声光晶体 真空键合 热应力 声阻抗匹配 
FBAR用氮化铝压电薄膜研究被引量：4
《压电与声光》2015年第6期934-936,共3页陈运祥 董加和 司美菊 李洪平 赵雪梅 张永川 于新晓 刘善群 
国家重点研究基金资助项目
介绍了FBAR用复合氮化铝(AlN)压电薄膜的制作方法。采用双S枪中频(40kHz)磁控反应性溅射铝靶制作出了AlN压电薄膜。采用双S枪直流(DC)磁控溅射钼(Mo)靶制作出了Mo电极薄膜。对AlN压电薄膜、Mo电极薄膜进行了X线衍射(XRD)分析,结果表明,...
关键词：氮化铝压电薄膜 膜厚均匀性 薄膜应力 
基于剥离工艺的晶圆材料表面形貌表征
《压电与声光》2015年第3期512-514,518,共4页刘善群 喻卫兵 赵雪梅 陶玲 陆川 
压电晶圆表面形貌特征参数是影响光刻剥离工艺及器件批生产成品的关键技术基础。基于声表面波(SAW)器件剥离工艺,该文提出并量化了晶圆材料表面形貌表征参数体系:翘曲度(BOW)、平坦度(GBIR)、小区平坦度(SBIR)、小区平坦度合格率(PLTV)...
关键词：压电晶圆 表面形貌 表征 平坦度 
2.4GHz石英窄带低损耗声表面横波谐振滤波器被引量：2
《压电与声光》2015年第3期405-407,共3页周卫 刘善群 陈峻 邵静 刘积学 吴燕 朱明 赖彬 喻卫兵 许东辉 田亚睿 曾武 伍平 
该文描述了一种工作频率在S波段的低损耗极窄带声表面横波谐振滤波器,解决了整机系统在高频率S波段载波近端的杂波抑制。采用一阶温度系数为0的石英基片及比瑞利型声表面波波速高1.6倍的声表面横波,制作出3dB带宽大于1‰的低损耗窄带谐...
关键词：声表面横波 谐振器 滤波器 
高频声表面波器件用压电晶圆清洗技术研究
《压电与声光》2013年第3期318-319,328,共3页刘善群 汤旭东 喻卫兵 陶玲 伍平 刘晓莉 陆川 赵雪梅 
论述了低浓度碱性过氧化氢清洗液兆声清洗钽酸锂、铌酸锂和水晶等压电晶圆的工艺技术。在保持压电晶圆特性的前提下,该技术可有效去除晶圆表面小于0.2μm的附着颗粒,使其表面洁净度满足亚微米线宽高频声表面波(SAW)器件生产要求,同时降...
关键词：声表面波工艺 兆声清洗 压电晶圆 
晶圆探针测试系统校准
《压电与声光》2013年第3期441-444,共4页伍平 董姝 杜波 冷俊林 刘晓莉 刘善群 王岚 
阐述了消除探针测试系统误差的方法,通过分析校准原理和计算校准模型,提出了把已知的校准位放在校准基片上,通过修改网络分析仪(VNA)的校准位和信号接收端口,利用探针台的移动和探针与校准位的接触提取和反馈信号,修正系统误差。
关键词：校准基片 误差修正 系统误差 
微声薄膜耦合谐振滤波器的仿真与设计被引量：1
《压电与声光》2012年第6期811-813,共3页杜波 刘善群 马晋毅 江洪敏 杨靖 徐阳 
基于Mason模型,建立了微声薄膜耦合谐振滤波器的等效电路,实现了滤波器的快速仿真设计。将耦合谐振滤波器与梯形结构微声薄膜滤波器级联,改善了滤波器的矩形度、带外抑制等特性,并通过优化设计,提高了级联滤波器的相位线性度。
关键词：微声薄膜 耦合谐振滤波器 相位线性度 
SAW陀螺新型接收电极
《压电与声光》2011年第3期372-374,共3页杨增涛 卜继军 马晋毅 肖凯 陈小兵 江洪敏 杜波 朱家友 刘善群 
该文在理论上分析了声表面波(SAW)陀螺中两列相向传播SAW形成的驻波在哥氏力作用下的相位分布及传播规律,设计出一种新型的接收电极。此电极能将陀螺效应激发的表面波同种电荷积累到一起,改进了原有电极中同根电极上正负相互抵消的缺点...
关键词：SAW陀螺 电极 驻波 
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