陈峻

作品数：5被引量：7H指数：2
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供职机构：中国电子科技集团第二十六研究所更多>>
发文主题：谐振滤波器横波高频表面贴装带外抑制更多>>
发文领域：电子电信更多>>
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钝化层对声表面波滤波器的影响被引量：2
《压电与声光》2021年第4期511-513,共3页赵雪梅 伍平 董加和 米佳 黎亮 陈峻 陈正林 
为了研究钝化层对声表面波(SAW)滤波器性能的影响,以二氧化硅(SiO_(2))薄膜为钝化层,对厚度为12~80 nm的SiO_(2)膜钝化层工艺数据进行分析。结果表明,当SiO_(2)膜钝化层覆膜厚度大于25 nm时其膜层质量均匀性好,致密度高。同时SiO_(2)膜...
关键词：表面波滤波器 钝化层 二氧化硅(SiO_(2))覆膜 过渡带宽 
传统SAW离子束调频技术研究
《压电与声光》2019年第6期874-876,共3页伍平 陈峻 米佳 董家和 赵雪梅 刘晓莉 董姝 黎亮 
制作传统声表面波(SAW)器件晶圆芯片表面的材料是Al,Al在空气中被氧化,极易生成致密的氧化铝(Al2O3)薄膜,由于Al2O3薄膜和Al及基底压电材料的刻蚀速率存在差异,会导致SAW的离子束调频过程复杂。该文介绍了一种用于SAW的离子束调频方法,...
关键词：离子束 刻蚀速率 目标频率 
2.4GHz石英窄带低损耗声表面横波谐振滤波器被引量：2
《压电与声光》2015年第3期405-407,共3页周卫 刘善群 陈峻 邵静 刘积学 吴燕 朱明 赖彬 喻卫兵 许东辉 田亚睿 曾武 伍平 
该文描述了一种工作频率在S波段的低损耗极窄带声表面横波谐振滤波器,解决了整机系统在高频率S波段载波近端的杂波抑制。采用一阶温度系数为0的石英基片及比瑞利型声表面波波速高1.6倍的声表面横波,制作出3dB带宽大于1‰的低损耗窄带谐...
关键词：声表面横波 谐振器 滤波器 
高频声表面横波谐振器研制被引量：2
《压电与声光》2013年第1期13-15,共3页周卫 杨正兵 曾武 付金桥 汤旭东 朱明 陈峻 伍平 邵静 
声表面横波具有比瑞利波高1.6倍的波速,声表面横波谐振器具有一阶温度系数(TFC)为0,工作频率高,损耗小,耐功率能力强及振动灵敏度低等特点。该文叙述了声表面横波工作原理,研制出了频率达到1 439MHz、1 989MHz、2 491MHz的声表面横波谐...
关键词：声表面横波 谐振器 损耗 品质因数(Q)值 
声表面波器件制作中的一种剥离技术被引量：2
《压电与声光》2012年第2期163-165,168,共4页杨正兵 冷俊林 曾武 刘晓莉 朱明 陈峻 
介绍了一种适用于LiTaO3、LiNbO3基片的金属剥离工艺技术。该剥离技术利用碱性溶剂浸泡处理光刻胶,光刻胶顶层形成一层有利于剥离的突出遮蔽层。利用该技术可制作线宽小于0.5μm的SAW芯片。该技术无需额外设备,工艺稳定且成本低。
关键词：声表面波 表面处理 剥离工艺 
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