米佳

作品数：20被引量：39H指数：4
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供职机构：中国电子科技集团第二十六研究所更多>>
发文主题：声表面波器件声表面波声表面波滤波器晶圆级封装键合更多>>
发文领域：电子电信一般工业技术电气工程金属学及工艺更多>>
发文期刊：《压电与声光》《微电子学》《半导体光电》更多>>
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ICP刻蚀Mo侧壁角度及刻蚀速率的研究
《压电与声光》2025年第1期59-62,共4页田本朗 梁柳洪 何成勇 罗淦 郭耀祖 米佳 
采用基于Cl基气体的电感耦合等离子体(ICP)干法刻蚀设备对金属Mo薄膜进行刻蚀,研究了刻蚀条件对侧壁角度以及刻蚀速率的控制。通过调节ICP干法刻蚀过程中射频源功率、ICP离子源功率、腔体压力、混合气体流量比例等工艺参数,实现了14.8°...
关键词：电感耦合等离子体(ICP) MO 薄膜体声波谐振器(FBAR) 侧壁角度 刻蚀速率 
低频小型化兰姆波谐振器的研究
《压电与声光》2024年第2期174-178,183,共6页叶昶裕 肖强 陈正林 董加和 米佳 鲍景富 
国家自然科学基金资助项目(U1430102)。
针对低频声学器件的小型化、大带宽问题,该文基于Y切-铌酸锂压电薄膜激发了反对称A0兰姆波模式,并采用有限元法对A0模式进行了结构设计与理论分析。研究了铌酸锂切型、电极材料、金属化比及膜层厚度变化对声速和机电耦合系数等性能的影...
关键词：低频小型化 谐振器 兰姆波 铌酸锂 横向模态抑制 
提高单晶薄膜滤波器片内频率一致性的研究被引量：1
《压电与声光》2023年第6期800-803,共4页潘祺 米佳 
研究了常规光刻工艺下单晶薄膜晶圆制备声表面波滤波器的频率分散特性。结果表明,压电单晶薄膜的表面色差是引起频率分散性恶化的根本原因,采用抗反射膜工艺抑制衬底反射以及分区曝光工艺对不同色块进行曝光补偿,均能有效地提高片内频...
关键词：压电单晶薄膜衬底 抗反射膜 曝光补偿 频率一致性 
SiO_(2)/W反射叠层的分布电容对体波谐振器的影响
《压电与声光》2023年第3期346-349,354,共5页吴兆辉 唐盘良 李桦林 米佳 鲍景富 
国家自然科学基金资助项目(U1430102);科技部科技支撑计划基金资助项目(GG22012412C)。
该文使用SiO_(2)和金属材料钨(W)构造布喇格反射叠层,将其应用于由横向电场激励体声波谐振器(XBAR),并分析了金属层对谐振器性能的影响。所设计的谐振器以128°YX-切铌酸锂为压电层,Al为电极,SiO_(2)和W为周期层叠结构,单晶硅作为衬底...
关键词：SiO_(2)/W叠层反射器 铌酸锂 A1模式谐振器 传输系数 
3.4 GHz频率的S波段SAW滤波器
《压电与声光》2022年第2期199-201,共3页白涛 董加和 马晋毅 蒋世义 郑泽渔 陈尚权 米佳 冷俊林 陈彦光 杨桃均 刘建国 
该文研制了一款频率3.4 GHz的S波段声表面波(SAW)滤波器。该滤波器采用一种由新型谐振器构成的阻抗元结构,能提升抗热释电静电损伤能力,用时可在一定程度上提升器件的功率承受能力。同时研制了尺寸为2.0 mm×1.6 mm的芯片级封装(CSP)基...
关键词：声表面波(SAW)滤波器 S波段 芯片级封装(CSP) 
钝化层对声表面波滤波器的影响被引量：2
《压电与声光》2021年第4期511-513,共3页赵雪梅 伍平 董加和 米佳 黎亮 陈峻 陈正林 
为了研究钝化层对声表面波(SAW)滤波器性能的影响,以二氧化硅(SiO_(2))薄膜为钝化层,对厚度为12~80 nm的SiO_(2)膜钝化层工艺数据进行分析。结果表明,当SiO_(2)膜钝化层覆膜厚度大于25 nm时其膜层质量均匀性好,致密度高。同时SiO_(2)膜...
关键词：表面波滤波器 钝化层 二氧化硅(SiO_(2))覆膜 过渡带宽 
压电单晶薄膜衬底光刻工艺研究被引量：2
《压电与声光》2021年第4期583-586,共4页唐代华 潘祺 米佳 冷俊林 唐塽 何西良 黎妮 
单晶薄膜声表面波(SAW)滤波器因其低损耗,低频率温度系数及大带宽而成为高性能SAW滤波器未来发展的方向。针对单晶薄膜衬底反射带来的换能器指条锯齿和均匀性恶化的问题,该文采用了有机抗反射膜工艺,通过控制抗反射膜的膜厚将衬底的相...
关键词：压电单晶薄膜衬底 抗反射膜 光刻 伯德Q值 
高性能声学滤波器技术研究进展被引量：8
《压电与声光》2020年第5期617-622,共6页李晖 米佳 胡少勤 李左翰 邱海莲 
声学滤波器是当前射频前端模块中最核心元器件之一。随着第五代(5G)移动通信技术的深入推进,对滤波器的技术要求也不断提高。近年来,在一些新架构、新材料和先进建模技术的加持下,声学滤波器技术屡有突破,已研制出多种高性能声学滤波器...
关键词：声学 声波 声表面波(SAW) 体声波(BAW) 滤波器 射频前端模块(RFFEM) 第五代移动通信技术(5G) 
高密度电子系统的微热控技术研究被引量：7
《微电子学》2020年第4期548-554,共7页李晖 李左翰 胡少勤 米佳 毛世平 
在摩尔定律提出之后的50年时间里,电子系统的集成度和组装度不断提高,功率和热流密度越来越大,微热管理技术已成为高密度电子系统(包括元器件、芯片、组/部件及系统本身)设计与制造的重要研究目标。文章分析了微热控技术的发展背景,叙...
关键词：电子系统 微热控技术 散热管理 微通道 微热管 微喷射 
一种基于WLP封装的声表面波滤波器被引量：3
《压电与声光》2020年第4期579-582,共4页陈尚权 吕翼 赵雪梅 董加和 米佳 陈彦光 伍平 
预研基金资助项目。
以41°Y-X切型铌酸锂作为基底材料,选择双T型阻抗元结构,采用晶圆级封装(WLP)技术,制作了一款相对带宽5.8%,最小插入损耗为-2.8 dB,体积为1.1 mm×0.9 mm×0.5 mm的小型化WLP封装声表面波滤波器。并研制了专用探卡,对封装后晶圆完成在...
关键词：晶圆级封装(WLP) 声表面波滤波器 探卡 
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