石自彬

作品数：19被引量：44H指数：5
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供职机构：中国电子科技集团第二十六研究所更多>>
发文主题：提拉法晶体生长闪烁晶体镓钽酸锂更多>>
发文领域：电子电信一般工业技术电气工程理学更多>>
发文期刊：《压电与声光》《人工晶体学报》更多>>
所获基金：中国人民解放军总装备部预研基金重庆市科委基金国家自然科学基金更多>>
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用于压电单晶薄膜晶圆制备的键合面清洗技术研究
《压电与声光》2024年第5期700-703,728,共5页刘善群 丁雨憧 陈哲明 石自彬 龙勇 邹少红 庾桂秋 张莉 
高性能薄膜声表面波滤波器对压电单晶薄膜晶圆键合面的洁净度提出了严苛的要求。目前采用的常规清洗技术对因离子注入后而残留的大量颗粒等污染物的去除效率低,导致键合晶圆存在较多气泡或者空洞,因此提出了一种采用硫酸与过氧化氢混合...
关键词：压电单晶薄膜晶圆 清洗技术 离子注入 晶圆键合 表面洁净度 
氢离子注入钽酸锂的翘曲变化及颗粒研究
《压电与声光》2024年第4期591-595,共5页龙勇 肖梦涵 陈哲明 邹少红 刘善琼 石自彬 丁雨憧 马晋毅 
声表面波(SAW)滤波器急需使用高质量的钽酸锂压电单晶复合薄膜衬底材料来提升性能。离子注入后,晶圆翘曲增大,颗粒增加,键合工艺易产生不规则条纹和键合空洞等缺陷,严重阻碍高质量钽酸锂压电单晶复合薄膜材料的制备。通过X线衍射(XRD)...
关键词：离子注入 钽酸锂压电晶圆 翘曲 颗粒 键合 
硅基钽酸锂异质晶圆键合工艺研究被引量：2
《人工晶体学报》2024年第4期634-640,共7页陈哲明 丁雨憧 邹少红 龙勇 石自彬 马晋毅 
科工局项目(JPPT-XX)。
5G移动通信的发展对声表面波滤波器提出了高频、小型化、集成化的要求。相较于传统压电体单晶材料,采用硅基压电单晶薄膜材料制备的声表面波滤波器具有高频、低插入损耗、高温稳定性等优势,是高性能声表面波器件发展的核心基础材料。Sma...
关键词：硅基钽酸锂 低温直接键合 等离子活化 兆声清洗 预键合 键合加固 声表面波滤波器 
42°Y钽酸锂晶体生长及性能研究被引量：5
《压电与声光》2023年第1期26-28,共3页于明晓 龙勇 石自彬 陈哲明 邹少红 丁雨憧 
总装备部材料支撑项目。
钽酸锂晶体具有优异的压电性能,是声表面波(SAW)滤波器广泛使用的衬底材料。该文采用自主研制的提拉单晶炉,成功生长出4英寸、42°Y方向、外观完整的钽酸锂晶体。经可见及近红外分光光度计测试,晶体透过率接近80%;经X线摇摆测试,其半高...
关键词：钽酸锂 晶体 提拉法 声表面波滤波器 
大尺寸Y方向钽酸镓镧压电晶体生长及性能研究被引量：2
《人工晶体学报》2020年第6期1044-1047,共4页石自彬 李和新 龙勇 丁雨憧 
国家重点研发计划(2016YFB0402701)。
成功采用提拉法生长了尺寸φ80 mm×100 mm的Y方向钽酸镓镧压电晶体,晶体整体透明、无包裹体。采用LCR电桥测量了晶体的相对介电常数,采用谐振-反谐振法测量了压电应变常数。研究了头尾之间性能差异性,头尾频率常数均匀性达到99.95%,表...
关键词：钽酸镓镧 提拉法 压电性能 
钽酸锂黑片的制备与性能研究被引量：3
《压电与声光》2019年第3期340-343,共4页龙勇 于明晓 李和新 石自彬 王璐 丁雨憧 徐扬 吴兆刚 
总装备部材料支撑基金资助项目
为了获得高均匀性、低热释电的钽酸锂(LT)晶片,采用粉末掩埋法对42°Y-LT晶片进行了还原处理。结果表明,还原处理后的晶片电阻率为3.98×10^10Ω·cm;在365nm处透过率约为36.5%,透过率均匀性为1.15;热导率为2.66W/(m·K),热膨胀系数为2...
关键词：钽酸锂 还原处理 电阻率 均匀性 晶片 
LuYAP∶Ce闪烁晶体阵列研究
《压电与声光》2019年第2期185-187,共3页徐扬 董鸿林 石自彬 李德辉 吴玉池 付昌禄 
国防科工局配套基金资助项目(JPPT-125-5-169)
铝酸钇镥(LuYAP)∶Ce晶体具有衰减时间短,密度大,光产额高及不潮解等优点。采用该晶体制作的闪烁晶体阵列,能快速获得皮秒级正电子湮灭的精确信息。该文报道了一种LuYAP∶Ce闪烁晶体阵列的制作方法,将提拉法制备的LuYAP∶Ce晶体经切割...
关键词：LuYAP∶Ce闪烁晶体 化学机械抛光 晶体阵列 发光均匀性 硫酸钡 
CAS晶体生长与习性研究被引量：2
《压电与声光》2018年第2期178-181,共4页龙勇 于明晓 石自彬 丁雨憧 王佳 徐扬 付昌禄 
中国电子科技集团公司第二十六研究所所控基金资助项目(26-1507)
采用中频感应上称重提拉技术对Ca_2Al_2SiO_7(CAS)压电晶体进行了生长,研究了不同转速及生长方向下晶体的生长习性,从理论上分析了转速和生长方向对晶体形貌的影响。结果表明,晶体外形随转速的增加,其形貌由圆柱状变为正方形,再变为长方...
关键词：压电传感器 硅酸铝钙(Ca 2Al 2SiO 7) 提拉法 高温 生长习性 
高发光均匀性Ce:LSO闪烁晶体的研制被引量：7
《压电与声光》2016年第3期405-408,共4页王佳 岑伟 徐扬 胡少勤 石自彬 付昌禄 
总装合同办技术支撑项目
采用提拉法生长了尺寸为φ65mm×200mm的Ce:LSO闪烁晶体,在研究高发光均匀性机理的基础上,利用正交试验生长不同铈掺杂浓度、二氧化硅补偿浓度及结晶率的Ce:LSO晶体。结合晶体头尾相对发光强度、发光不均匀性等测试结果,确定了合适的原...
关键词：Ce:LSO 提拉法 高发光均匀性 正交试验 
高镥组分LuYAP:Ce闪烁晶体生长及性能研究被引量：1
《压电与声光》2016年第3期413-414,419,共3页石自彬 岑伟 徐扬 李和新 李德辉 王佳 
国防科工局配套基金资助项目(JPPT-125-5-169)
LuYAP:Ce晶体是YAP和LuAP的固溶体,具有衰减时间短,光产额高,密度高,有效原子序数大及不潮解等特性。随着镥组分含量的增加,晶体密度和有效原子序数随之增加,衰减时间更短。采用提拉法生长了φ35mm×100mm的高镥组分LuYAP:Ce闪烁晶体,...
关键词：LuYAP:Ce 提拉法 元素含量 闪烁性能 
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