钽酸锂

作品数：138被引量：153H指数：7
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钽酸锂晶圆减薄用超细金刚石陶瓷砂轮的制备与表征
《超硬材料工程》2025年第2期1-6,共6页刘宾 苗卫朋 杨威 丁玉龙 王志起 韩少星 穆龙阁 
河南省重大科技专项《大尺寸硅片精密磨削加工用砂轮开发及应用》(项目编号:241100230300);国机集团重大科技专项《典型难加工材料精密切磨工具基础共性技术研究》(项目编号:ZDZX2023-4);河南省科技攻关计划项目(232102230145)。
为解决加工半导体晶圆钽酸锂时,由于断裂韧性低而易产生表面划痕、损伤及扩展的问题,采用空间占位法成功制备了高自锐性的超细金刚石陶瓷砂轮。此砂轮的组织结构气孔分布均匀,大、小孔径交互存在,可以有效的提升自锐性和容屑能力。试验...
关键词：钽酸锂 磨削 陶瓷结合剂 金刚石砂轮 
热释电钽酸锂涂层的制备与性能表征
《核技术》2025年第1期192-200,共9页马妙欣 刘晓晶 陆祺 何辉 
国家自然科学基金(No.52176082,No.U20B2011,No.12275261);上海市自然科学基金面上项目(No.23ZR1429800);上海市教育委员会和上海市教育发展基金会"曙光"项目(No.21SG13)资助。
船用反应堆和浮动式核电站由于海洋运动引起的壁面温度波动给两相传热系统的沸腾传热带来挑战。热释电材料钽酸锂(LiTaO_(3),LT)具有高热释电系数、高居里温度(650℃)以及低相对介电常数,温度变化而产生的热释电效应会对传热表面的浸润...
关键词：热释电效应 钽酸锂 溶胶-凝胶法 浸润性温敏自调控 
“零”的突破丨天通凯巨8英寸掺铁钽酸锂晶体成功产出!
《人工晶体学报》2024年第11期2024-2024,共1页徐秋峰 钱煜 孔辉 
钽酸锂作为一种重要的功能晶体材料,具有优异的压电、热电、光电等性能,温度系数低、压电系数和机电耦合系数较大,可用于制造滤波器、谐振器、热释电探测器等产品,广泛应用在通信、电子、激光等行业中。近期,由天通控股股份有限公司(以...
关键词：热释电探测器 钽酸锂晶体 科研人员 压电系数 单晶炉 温度系数 提拉法 全资子公司 
钽酸锂单晶薄膜的退火处理与微结构分析
《压电与声光》2024年第4期545-549,共5页杨杰 高艺卓 朱代磊 帅垚 吴传贵 罗文博 
离子注入剥离技术制备的钽酸锂单晶薄膜可用于高品质因数和低热漂移窄带射频滤波器,但高能离子注入使钽酸锂薄膜存在缺陷及晶格损伤,限制了器件性能的提升,无法充分发挥单晶薄膜的性能优势。使用退火工艺对钽酸锂薄膜进行损伤修复,采用...
关键词：钽酸锂单晶薄膜 退火处理 拉曼光谱 晶体缺陷 薄膜成分偏析 
氢离子注入钽酸锂的翘曲变化及颗粒研究
《压电与声光》2024年第4期591-595,共5页龙勇 肖梦涵 陈哲明 邹少红 刘善琼 石自彬 丁雨憧 马晋毅 
声表面波(SAW)滤波器急需使用高质量的钽酸锂压电单晶复合薄膜衬底材料来提升性能。离子注入后,晶圆翘曲增大,颗粒增加,键合工艺易产生不规则条纹和键合空洞等缺陷,严重阻碍高质量钽酸锂压电单晶复合薄膜材料的制备。通过X线衍射(XRD)...
关键词：离子注入 钽酸锂压电晶圆 翘曲 颗粒 键合 
基于磨粒三维轨迹的钽酸锂双面研磨均匀性
《光学精密工程》2024年第13期2081-2090,共10页薛赛赛 郭晓光 贾玙璠 高尚 康仁科 
国家自然科学基金资助项目(No.52175382)。
为了改善钽酸锂(LiTaO_(3),LT)晶片的材料去除均匀性,提出一种考虑磨粒三维微切削的材料去除均匀性模型。根据钽酸锂晶体脆/塑性去除机理,结合研磨垫表面磨粒的分布特征,运用力平衡方程计算了研磨垫上各磨粒的切入深度与切屑截面积。通...
关键词：固结磨料研磨 钽酸锂晶片 磨粒运动轨迹 材料去除均匀性 
石墨烯/钽酸锂场效应晶体管温度电阻特性研究被引量：1
《稀有金属》2024年第7期1056-1062,共7页金庆喜 连紫薇 赵永敏 明安杰 魏峰 毛昌辉 
国家自然科学基金面上项目(61874137);国家重点研发计划项目(2019YFB2005705);山东省重点研发计划项目(2020CXGC010203)资助。
二维石墨烯材料的原子尺度厚度和其可调的能带结构使其对电介质环境高度敏感,从而使得石墨烯/电介质材料体系对外界多种物理量有敏感响应特性。通过制备石墨烯/钽酸锂热释电栅场效应晶体管并分析该体系的电学传输特性,研究了石墨烯/钽...
关键词：石墨烯 石墨烯晶体管 钽酸锂 热释电 温度电阻系数(TCR) 
我国科学家开发出可规模制造的光子芯片材料
《传感器世界》2024年第5期39-39,共1页
中国科学院上海微系统与信息技术研究所研究员欧欣领衔的团队开发出钽酸锂异质集成晶圆,并成功用其制作高性能光子芯片。2024年5月8日,该成果发表于国际学术期刊《自然》。欧欣介绍,不同于电子芯片以电流为信息载体,光子芯片以光波为信...
关键词：团队开发 信息技术 国际学术期刊 信息载体 中国科学院 电子芯片 钽酸锂 低时延 
硅基钽酸锂异质晶圆键合工艺研究被引量：2
《人工晶体学报》2024年第4期634-640,共7页陈哲明 丁雨憧 邹少红 龙勇 石自彬 马晋毅 
科工局项目(JPPT-XX)。
5G移动通信的发展对声表面波滤波器提出了高频、小型化、集成化的要求。相较于传统压电体单晶材料,采用硅基压电单晶薄膜材料制备的声表面波滤波器具有高频、低插入损耗、高温稳定性等优势,是高性能声表面波器件发展的核心基础材料。Sma...
关键词：硅基钽酸锂 低温直接键合 等离子活化 兆声清洗 预键合 键合加固 声表面波滤波器 
湿法纺丝用喷丝头的结构与材质及性能
《合成纤维工业》2024年第2期78-82,共5页孙娜娜 张璐 
介绍了湿法纺丝用喷丝头的结构、材料及性能。湿法纺丝用喷丝头的形状主要为帽子形,孔径为0.05~0.12 mm,采用圆锥形和圆弧形两种孔形。喷丝头的材质主要为金、铂、铑、钽等,其中金铂合金喷丝头耐腐蚀性能好、强度和硬度高、纺丝质量好,...
关键词：喷丝头 金铂合金喷丝头 钽喷丝头 钽酸锂 金刚石 结构 材质 
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