刘娅

作品数：13被引量：21H指数：3
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供职机构：中国电子科技集团第二十六研究所更多>>
发文主题：体声波滤波器薄膜体声波谐振器FBAR电极硅晶圆更多>>
发文领域：电子电信自动化与计算机技术一般工业技术电气工程更多>>
发文期刊：《压电与声光》《人工晶体学报》更多>>
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高性能温补型薄膜体声波滤波器的研制
《压电与声光》2023年第6期795-799,共5页刘娅 陈凤 黄晶 黄龙 吕峻豪 孙明宝 马晋毅 
该文研制了一种高性能温补型薄膜体声波谐振(TC-FBAR)滤波器。采用COMSOL软件对高性能温补型结构的谐振器进行建模和仿真,在常规一维Mason等效电路模型的基础上进行修正,再在ADS中对滤波器进行仿真优化设计,得到阶梯型结构的TC-FBAR滤...
关键词：温补型薄膜体声波谐振器(TC-FBAR) 滤波器 温补层 频率温度系数(TCF) 
C波段宽带薄膜体声波滤波器设计及验证被引量：1
《压电与声光》2023年第4期535-539,共5页蒋世义 蒋平英 马晋毅 陈彦光 徐阳 刘娅 徐溢 
介绍了一种适用于三维堆叠的凸点式晶圆级封装的小型化C波段宽带薄膜体声波滤波器的设计方法,并进行了工艺验证。通过对压电层薄膜进行钪掺杂、材料参数提取、结构模型优化实现了相对带宽大于5%的薄膜体声波滤波器设计。通过表面硅基微...
关键词：薄膜体声波谐振器(FBAR) 宽带 高抑制度 
基于Al_(0.8)Sc_(0.2)N压电薄膜MEMS声波器件的研制
《压电与声光》2022年第3期397-402,共6页黄湘俊 邸啸 刘娅 李鑫 易拥洁 吴鹏程 安兴 朱鑫 
该文介绍了一种由5×5个半径为200μm圆形阵列组成,应用于水听器的高性能压电微机电系统(MEMS)声波器件,尺寸为3 mm×3 mm。采用钪掺杂(质量分数为20%)增强了AlN薄膜的压电系数,并通过双电极结构配置及优化结构尺寸来增强声压作用下的...
关键词：压电微机电系统(MEMS) 声波器件 Al_(0.8)Sc_(0.2)N薄膜 阵列结构 灵敏度 水听器 
C波段WLP薄膜体声波滤波器的研制被引量：3
《压电与声光》2022年第2期260-263,共4页刘娅 孙科 马晋毅 谢征珍 蒋平英 杜雪松 
该文研制了一种晶圆级封装(WLP)的C波段薄膜体声波谐振器(FBAR)滤波器。采用一维Mason等效电路模型对谐振器进行设计,并使用HFSS对电磁封装模型进行优化,再在ADS中对滤波器进行仿真优化设计,得到阶梯型结构的FBAR滤波器。采用空腔型结...
关键词：薄膜体声波谐振器(FBAR) Mason模型 晶圆极封装(WLP) 覆膜 插入损耗 
一款2.4 GHz WiFi频段FBAR带通滤波器设计被引量：1
《压电与声光》2022年第2期191-193,198,共4页唐小龙 刘娅 蒋平英 张必壮 徐瑞豪 刘繁 张建清 司美菊 吕俊豪 杜雪松 
该文设计了一款2.4 GHz WiFi频段(2401~2483 MHz)薄膜体声波谐振器(FBAR)滤波器。采用一维Mason电路模型,在ADS中搭建了阶梯形滤波器电路;在HFSS中建立了封装结构和测试电路有限元电磁模型,并在ADS中完成了联合仿真设计。通过微机电系统...
关键词：薄膜体声波谐振器(FBAR) WiFi频段 体声波(BAW) 滤波器 Mason模型 
低温漂薄膜体声波谐振器研究被引量：1
《压电与声光》2022年第2期171-174,共4页蒋世义 蒋平英 刘娅 甄静怡 徐阳 彭霄 唐中剑 
重庆市教委科学技术研究基金资助项目(KJQN201904106)。
该文介绍了一种基于空腔结构的温度补偿型薄膜体声波谐振器(TC-FBAR)。通过在压电层上方生长SiO_(2)温度补偿层,实现谐振器的低温漂。未采用温度补偿的薄膜体声波谐振器,其频率温度系数约为-25×10^(-6)/℃。通过适当的膜层结构设计,可...
关键词：薄膜体声波谐振器(FBAR) 频率温度系数 低温漂 温度补偿 
薄膜体声波谐振器Mason模型参数的提取方法被引量：3
《压电与声光》2022年第2期215-219,共5页张必壮 唐小龙 蒋平英 李华莉 廖书丹 刘娅 刘繁 
为了正确分析和设计薄膜体声波谐振器(FBAR)器件,需要对谐振器Mason模型中的仿真参数(如机电耦合系数、介电常数及粘滞系数等)进行准确提取。通过简谐近似,在Mason模型中引入了厚度方向位移的横向分量,提高了参数提取的准确性。使用谐...
关键词：薄膜体声波谐振器(FBAR) Mason模型 参数提取 开路和短路去嵌 
基于裸芯片覆膜的薄膜体声波滤波器被引量：3
《压电与声光》2021年第3期299-302,共4页刘娅 马晋毅 孙科 张必壮 罗方活 徐阳 蒋平英 谭发曾 许东辉 田本朗 
该文研制了一种空腔型的薄膜体声波谐振器(FBAR)滤波器裸芯片。利用FBAR一维Mason等效电路模型对谐振器进行设计,然后采用实际制作的谐振器模型形成阶梯型结构FBAR滤波器,利用ADS软件对FBAR滤波器裸芯片进行优化设计。仿真结果表明,FBA...
关键词：薄膜体声波谐振器(FBAR) Mason模型 裸芯片 覆膜 插入损耗 
S波段低插损FBAR陷波器的研制被引量：3
《压电与声光》2021年第2期157-160,共4页蒋平英 蒋世义 何西良 陈金琳 彭霄 徐阳 刘娅 
该文介绍了一种单端口、端口阻抗50Ω的S波段薄膜体声波谐振器(FBAR)陷波器,其采用了梯形拓扑结构与外围匹配电路相结合的方式。对FBAR陷波器芯片的设计过程、工艺实现进行了说明。测试制备的FBAR陷波器,其陷波频段为2399~2412 MHz,陷...
关键词：薄膜体声波谐振器(FBAR) 陷波器 芯片 梯形结构 低插损 
基于掺杂压电薄膜的FBAR制备及研究被引量：2
《人工晶体学报》2020年第6期1040-1043,共4页兰伟豪 徐阳 张永川 蒋平英 司美菊 刘娅 卢丹丹 何西良 
薄膜体声波谐振器(FBAR)具有体积小、工作频段高、性能强等优势,在滤波器领域有广泛的应用前景,其最核心的功能层为压电薄膜。本文采用磁控溅射方法,在6英寸硅片上制备了AlScN压电薄膜。对AlScN薄膜进行了分析表征,结果表明,AlScN压电...
关键词：压电薄膜 AlScN薄膜 磁控溅射 机电耦合系数 薄膜体声波谐振器 
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