蒋欣

作品数：16被引量：31H指数：4
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供职机构：中国电子科技集团第二十六研究所更多>>
发文主题：声表面波滤波器薄膜体声波谐振器换能器谐振刻蚀工艺更多>>
发文领域：电子电信一般工业技术更多>>
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一种面向5G应用的交指型滤波器的小型化设计被引量：5
《压电与声光》2019年第5期627-630,共4页杨清清 李云 叶志红 蒋欣 唐小龙 杜波 马晋毅 
国家自然科学基金资助项目(61701057);5G移动通信MEMS和FBAR滤波器产业技术研发及平台建设基金资助项目(2017ZX01001201-002)
针对5G无线通信毫米波频段的发展需求,设计了一款应用于K波段的交指型微机械滤波器。该滤波器采用抽头式输入、输出,通过上介质层的金属通孔将输入、输出信号引至最上层金属层,结合上、下介质层的空腔设计,有效地减小了滤波器的体积。...
关键词：交指型 毫米波 微机电系统(MEMS)滤波器 HFSS 硅基 
LiNbO3单晶薄膜体声波谐振器的研制
《压电与声光》2019年第3期330-334,共5页彭霄 田本朗 毛世平 杜波 蒋欣 徐阳 马晋毅 蒋平英 
该文介绍了一种采用智能截割(Smart CutTM)技术制备的单晶铌酸锂(LiNbO3)薄膜体声波谐振器。采用COMSOL有限元仿真软件从材料和结构两方面对LiNbO3薄膜体声波谐振器进行优化设计,以实现高机电耦合系数,并通过Smart CutTM工艺方法制备了...
关键词：机电耦合 智能截割 铌酸锂(LiNbO3)单晶薄膜 薄膜体声波谐振器 
X波段FBAR用AlN薄膜制备研究被引量：3
《压电与声光》2019年第2期170-172,共3页彭华东 徐阳 张永川 杜波 司美菊 蒋欣 赵明 
国防基础科研计划基金资助项目(JCKY2016210B010)
采用中频磁控溅射法,在硅基上制备了X波段薄膜体声波谐振器(FBAR)滤波器用AlN压电薄膜。对AlN薄膜进行了分析表征,结果表明,AlN压电薄膜具有良好的(002)面择优取向,摇摆曲线半峰宽为2.21°,膜厚均匀性优于0.5%,薄膜应力为-5.02 MPa,应...
关键词：AlN 压电薄膜 中频磁控溅射 薄膜应力 薄膜体声波谐振器(FBAR) 
一种基于柔性基底的薄膜体声波谐振器被引量：1
《压电与声光》2018年第6期901-904,共4页杨泰 张根 秦康宁 杜波 蒋欣 马晋毅 钟慧 石玉 
国家自然基金资助项目(61471086);中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室开发基金课题项目(2014KZ001)
为了能有效解决柔性基底体声波谐振器热稳定性不足及功率容量不足等问题,该文提出了一种新型的基于柔性基底的薄膜体声波谐振器。该谐振器的硅衬底上开设有一定数量的垂直上凸型结构,该结构既能有效抑制寄生模量,又能减小器件最高稳态...
关键词：柔性基底 薄膜体声波谐振器 Comsol 大功率 热学分析 微机电系统(MEMS) 
在非晶硅上制备角度可控缓坡的方法
《压电与声光》2018年第5期670-673,共4页秦康宁 张根 杨泰 钟慧 蒋欣 杜波 马晋毅 
国家自然基金资助项目(61471086);中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室开发基金课题项目(2014KZ001)
介绍了一种利用光的衍射原理制备角度可控缓坡微结构的方法。该方法在光刻步骤中通过调节掩膜板与基片之间的垂直距离来控制光刻胶图形边缘曝光量,光刻显影后得到剖面为正梯形的光刻胶图形,再经过干法刻蚀得到非晶硅的缓坡微结构。结果...
关键词：正胶 光刻 非晶硅 干法刻蚀 反应离子刻蚀 
用于磁控溅射膜的一种剥离技术被引量：1
《压电与声光》2018年第3期331-333,336,共4页刘娅 杨正兵 蒋欣 李磊 何西良 徐阳 
为了解决磁控溅射膜的剥离问题,该文研制了一种新型的双层胶剥离技术。通过调整双层光刻胶的坚膜时间、坚膜温度和显影时间,制备出好的光刻胶倒梯形形貌,得到磁控溅射膜较好的剥离效果。为薄膜体声波谐振器(FBAR)的研制提供了有意义的...
关键词：磁控溅射 剥离工艺 双层胶 倒梯形 薄膜体声波谐振器(FBAR) 
薄膜体声波滤波器的发展现状被引量：8
《压电与声光》2017年第2期163-166,共4页徐学良 陆玉姣 杨柳 杜波 蒋欣 马晋毅 
总装预研基金资助项目
薄膜体声波谐振(FBAR)滤波器具有体积小,性能高,一致性及可制造性好等优势,相关产品已被广泛应用于移动通信市场。通过对FBAR技术的基本原理和器件结构,讨论了FBAR技术的现状及发展趋势,表明其未来向宽带化,高功率化,高温度稳定性及小...
关键词：薄膜体声波谐振(FBAR)滤波器 发展趋势 宽带化 高功率化 高温度稳定性 小型化 
二氟化氙释放牺牲层多晶硅刻蚀速率研究被引量：1
《压电与声光》2016年第6期926-928,933,共4页司美菊 杜波 田本朗 徐阳 金成飞 蒋欣 江洪敏 马晋毅 
该文研究了相关工艺参数对二氟化氙(XeF_2)干法释放多晶硅的释放速率的影响。结果表明,对于薄膜体声波谐振器(FBAR)悬臂结构,腔室压力不变时,随着载气N_2流量的增大,刻蚀速率先增加后减少,刻蚀速率最大值为10.3μm/min;载气N2流量不变时...
关键词：空气隙 干法刻蚀 刻蚀速率 粗糙度 支撑层 
薄膜体声波谐振器有限元仿真与设计被引量：8
《压电与声光》2016年第4期531-534,共4页杜波 马晋毅 蒋欣 江洪敏 徐阳 田本朗 金成飞 司美菊 
为了抑制薄膜体声波谐振器的寄生谐振,建立了薄膜体声波谐振器的二、三维有限元模型。通过频率响应仿真,分析了不同电极结构的谐振器在中心频率处的振动位移分布情况和频率响应曲线,评估了不同电极结构对谐振器寄生振动的影响,并完成谐...
关键词：薄膜体声波谐振器 有限元 寄生振动 频率响应 
低损耗、髙矩形度声表滤波器设计研究被引量：4
《压电与声光》2015年第3期380-381,共2页金剑 蒋欣 鄢秋娟 王岚 蒋世义 陈彦光 杨贤春 
针对高矩形度低损耗声表面波(SAW)滤波器的需求背景,对混合结构低损耗SAW滤波器的设计技术展开研究,通过建立混合结构滤波器模型,分析优化滤波器性能,成功研制出中心频率260 MHz,插入损耗为2dB,矩形系数优化1.6的声表滤波器,测试与仿真...
关键词：声表面波滤波器 混合结构 低损耗 高矩形度 
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