声表面波压力传感器

作品数:20被引量:52H指数:5
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相关领域:自动化与计算机技术电子电信更多>>
相关作者:陈明李媛媛谭秋林何鹏举韩韬更多>>
相关机构:西北工业大学上海工程技术大学上海交通大学中北大学更多>>
相关期刊:《安徽电子信息职业技术学院学报》《航空发动机》《声学学报》《教学与科技》更多>>
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SAW压力传感器声传播方向特性研究
《传感器与微系统》2023年第11期27-30,共4页李旺旺 薛卫彪 屈珉敏 
山西省基础研究计划青年项目(202203021212191);山西省高等学校科技创新项目(2021L413)。
针对高温恶劣环境下对压力参数的测量需求,结合目前氮化铝(AlN)和蓝宝石(sapphire)等耐高温材料,构建了一种叉指换能器(IDT)/AlN/Sapphire结构的声表面波(SAW)传感器模型,并采用有限元法(FEM)分析SAW在c轴取向AlN薄膜上分别沿a方向(〈11...
关键词:声表面波压力传感器 有限元法 声传播方向 声速 机电耦合系数 压力灵敏度 
基于OpenHarmony的管道泄漏监测系统设计被引量:2
《石油和化工设备》2023年第7期52-56,共5页何伟 郑祥盘 魏作友 陈红星 
管道运输系统成为保障人们日常生活水平不可获取的一部分,并且随着铺设密度不断增加,发生管道泄漏风险不断增加;所以开展管道监测技术研究,及时并准确的发现泄漏等风险,具有重要的意义。本文在对比分析了常用的管道监测方法,选取了负压...
关键词:管道泄漏 监测系统 OpenHarmony 声表面波压力传感器 负压波法 
具有单相单向换能器的水平剪切声表面波压力传感器插入损耗特性被引量:1
《声学学报》2021年第5期749-758,共10页杨健 李媛媛 江蓓 季雪咪 
国家自然科学基金青年科学基金项目(61703269)资助。
为实现水平剪切声表面波压力传感器低损耗设计,系统研究了均匀叉指换能器(IDT)和单相单向换能器(SPUDT)器件的声波能量损耗性能。在确定最优反射系数的SPUDT结构的基础上,建立3D周期性有限元仿真模型,计算器件表面振动位移和双向输出电...
关键词:SAW压力传感器 声学传感器 插入损耗 傅里叶变换 器件模型 声波能量 损耗分析 瞬态响应 
极端环境下声表面波压力传感器研究进展被引量:6
《压电与声光》2021年第3期306-312,共7页潘虹芝 曹健 齐梦珂 程一民 曹亮 牟笑静 
国家重点研发计划基金资助项目(No.2019YFB2004800,No.2019YFB2004803);国家自然科学基金资助项目(No.52075061);中央高校基础研究基金资助项目(No.2019CDCGGD320);重庆大学光电工程学院项目研究生科研和创新基金资助项目(GDYKC202004)。
声表面波压力传感器因具有无源无线、高精度可编码、易于多参数传感集成等优点,被广泛应用于各种极端环境下的压力测量。该文首先介绍了声表面波压力传感器的工作原理及其技术优势,然后分别介绍了声表面波压力传感器在高温和高压环境下...
关键词:高温 高压 声表面波 压力传感器 
基于氮化铝单晶的声表面波压力传感器的特性研究
《安徽电子信息职业技术学院学报》2019年第6期12-15,25,共5页潘沛锋 
采用了声表面波(SAW)理论以及SAW谐振器的结构和工作原理,设计了一种基于声表面波(SAW)谐振式压力传感器。采用有限元仿真软件COMSOL Multiphysics对氮化铝单晶声表面波谐振器进行建模和仿真,提出符合声表面波振型的对称模态和反对称模...
关键词:声表面波 氮化铝单晶 压力传感器 COMSOL 叉指换能器 
基于ZnO单晶声表面波压力传感器的特性研究
《微型机与应用》2016年第24期84-86,共3页吴文琪 胡芳仁 杨宇鑫 
国家自然科学基金资助项目(61274121,61574080)
基于声表面波(SAW)理论以及SAW谐振器的结构和工作原理,设计了一种基于声表面波(SAW)谐振式压力传感器。采用有限元软件COMSOL Multiphysics对ZnO单晶声表面波谐振器进行建模和仿真,提出符合声表面波振型的对称模态和反对称模态,计算出...
关键词:声表面波 ZNO单晶 压力传感器 
高灵敏度硅酸镓镧声表面波压力传感器研究被引量:3
《压电与声光》2016年第4期519-522,共4页陈高丁 李红浪 柯亚兵 朱波 陈淑芬 何世堂 
国家自然科学基金资助项目(11174318;11304346);国家高技术研究发展计划("八六三"计划)基金资助项目(SS2013AA041103);北京市科技计划课题基金资助项目(Z141100003814016)
为提高硅酸镓镧(LGS)声表面波(SAW)压力传感器的灵敏度,研究了一种采用点压式压力传递结构的SAW压力传感器。理论上采用压电微扰理论和有限元法结合,使用有限元法获得压力作用下LGS基片的应力、应变,并将该应力、应变量代入叠加偏...
关键词:声表面波(SAW) 压力传感器 硅酸镓镧(LGS) 点压力式 
无源无线声表面波压力传感器研究被引量:4
《压电与声光》2015年第5期737-741,共5页张朋 常静 范福玲 杨益 
河南省教育厅科学技术研究重点基金资助项目(12B510037;13B510296);河南省科技厅科技攻关计划基金资助项目(142102210579)
无源无线传感器可对快速移动或旋转等环境下的物体进行参数测量,具有无源无线等优势。为此,采用声表面波(SAW)技术和无线射频技术研究实现了一种结构简单的无源无线声表面压力传感器。基于CC1101无线射频模块实现对SAW压力传感器感知信...
关键词:无源无线 声表面波(SAW)谐振器 CC1101 阻抗匹配 压力传感器 
声表面波压力传感器的仿真与设计被引量:6
《压电与声光》2015年第2期201-204,共4页向龙 秦廷辉 蒋平英 谢晓 彭锦婕 钱俊江 
重庆市科委基金资助项目(cstc2013yykfB40010)
该文设计了一种基于声表面波(SAW)传感原理的无源无线压力传感器。阐述了SAW单端谐振器的原理,对SAW压力传感器的原理进行了分析。选择了基于类似两端固定梁的敏感结构并利用ANSYS软件对其敏感结构进行仿真、分析。利用Mathcad软件对SA...
关键词:声表面波 压力传感器 谐振器 ANSYS MATHCAD 
某型飞机大气数据系统设计被引量:4
《火力与指挥控制》2009年第8期162-166,共5页张朋 陈明 秦波 
大气数据系统是重要的机载电子设备,其性能、精度直接关系到飞机的飞行安全。在介绍某型号飞机大气数据系统的软硬件体系结构的基础上,从三个方面深入研究了提高大气数据系统精度的途径:大气数据计算模型;基于BP神经网络的压力测量温度...
关键词:大气数据系统 BP神经网络 温度补偿 静压源误差 声表面波压力传感器 
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