SAW压力传感器

作品数：14被引量：64H指数：5
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SAW压力传感器声传播方向特性研究
《传感器与微系统》2023年第11期27-30,共4页李旺旺 薛卫彪 屈珉敏 
山西省基础研究计划青年项目(202203021212191);山西省高等学校科技创新项目(2021L413)。
针对高温恶劣环境下对压力参数的测量需求,结合目前氮化铝(AlN)和蓝宝石(sapphire)等耐高温材料,构建了一种叉指换能器(IDT)/AlN/Sapphire结构的声表面波(SAW)传感器模型,并采用有限元法(FEM)分析SAW在c轴取向AlN薄膜上分别沿a方向(〈11...
关键词：声表面波压力传感器 有限元法 声传播方向 声速 机电耦合系数 压力灵敏度 
双通道结构SAW压力传感器测量电路设计
《国外电子测量技术》2022年第8期181-187,共7页蒋建伟 蒋华 郭兴龙 
国家自然科学基金(62074086)项目资助。
针对声表面波(SAW)传感器输出的模拟信号难以准确变换和处理的问题,提出了延迟线型SAW压力传感器等效电路模型,设计了一种双通道结构模数混合测量电路,包括改进的SAW振荡器、混频器、低通滤波器、整形器、单片机等。通过ADS和Multisim...
关键词：SAW振荡器 SAW压力传感器 双通道结构 测量电路 
具有单相单向换能器的水平剪切声表面波压力传感器插入损耗特性被引量：1
《声学学报》2021年第5期749-758,共10页杨健 李媛媛 江蓓 季雪咪 
国家自然科学基金青年科学基金项目(61703269)资助。
为实现水平剪切声表面波压力传感器低损耗设计,系统研究了均匀叉指换能器(IDT)和单相单向换能器(SPUDT)器件的声波能量损耗性能。在确定最优反射系数的SPUDT结构的基础上,建立3D周期性有限元仿真模型,计算器件表面振动位移和双向输出电...
关键词：SAW压力传感器 声学传感器 插入损耗 傅里叶变换 器件模型 声波能量 损耗分析 瞬态响应 
基于MSC的低量程SAW压力传感器研究
《仪表技术与传感器》2021年第5期1-5,9,共6页杨刚 李媛媛 曹乐 江蓓 季雪咪 
随着声表面波(SAW)传感器在低量程压力检测领域的应用,其测量精确度的要求随之提高。针对SAW传感器频率响应曲线旁瓣扰动过大和体声波(BAW)干扰的问题,研究设计了一种基于多条耦合器(MSC)的低量程SAW压力传感器。围绕SAW传感器设计原理...
关键词：低量程压力 声表面波 多条耦合器 旁瓣 体声波 叉指换能器 
GA-BP神经网络对SAW压力传感器测量数据的拟合被引量：15
《电子测量与仪器学报》2021年第4期7-14,共8页许浩源 李媛媛 
国家自然科学基金(61803254)项目资助。
随着传感技术的不断发展,出现了越来越多以传感器为基础的无线传感检测系统。这些传感系统需要对采集到的数据进行数据分析。因此,传感器的数据分析对于无线传感系统的精确检测起到至关重要的作用。首先对设计的声表面波(surface acoust...
关键词：声表面波 传感器 最小二乘法 遗传算法 BP神经网络 
一种具有导向机构的谐振型SAW压力传感器被引量：2
《现代科学仪器》2016年第2期30-35,共6页阮喻 文玉梅 李平 沈卫东 王培文 
重庆市重大应用开发计划（cstc2013yykfc60002）资助项目
设计了一种基于声表面波谐振器的压力传感器，其敏感单元采用声表面波器件制成的简支梁结构，采取集中载荷在叉指换能器背部施力的方式。为保证压力传导方向的一致性，设计并制作了双平行四簧片导向机构，并利用ANSYS软件对其进行了仿...
关键词：声表面波谐振器 压力传感器 集中载荷 导向机构 
神经模糊控制在SAW压力传感器温度补偿中的应用被引量：1
《传感器与微系统》2007年第9期113-114,120,共3页付华 刘洋 尹丽娜 
声表面波(SAW)压力传感器是一种高精度数字化传感器,通过对SAW压力传感器输入—输出特性分析,提出采用神经模糊控制方法解决温度补偿问题,此方法将模糊推理和神经网络自学习功能结合,足以满足误差精度要求,并实现SAW压力传感器的智能化...
关键词：神经模糊控制 SAW压力传感器 温度补偿 
基于无线SAW压力传感器的FADS研究
《微纳电子技术》2007年第7期153-155,167,共4页江城 李宁 倪世宏 
嵌入式大气数据系统(FADS)是先进的大气数据系统。由于SAW压力传感器能进行无线测量,将无线SAW压力传感器应用于FADS,与MIMU相结合使之成为廉价的微型组合导航系统。研究了FADS的基本原理、无线双单端SAW谐振器压力传感器的基本原理以...
关键词：SAW传感器 无线SAW传感器 SAW压力传感器 嵌入式大气数据系统 
一种无源无线SAW压力传感器结构设计被引量：9
《传感技术学报》2007年第4期770-773,共4页刘文辉 李平 文玉梅 
国家自然科学基金资助项目(60374045;50677072)
根据无源无线SAW压力传感器的敏感特点,提出了一种具有较高灵敏度的压力传感器结构设计.传感器的受力敏感部分采用简支梁结构,通过分析找到梁的最大应变点,在梁的上下两侧最大应变区域中心对称分布了两个相同的单端口SAW谐振器.由两个SA...
关键词：SAW压力传感器 结构设计 差动式频率测量 灵敏度 
谐振式SAW压力传感器敏感元件研究与设计被引量：9
《传感技术学报》2006年第2期374-378,共5页何鹏举 戴冠中 陈明 徐苛杰 
量程和温度特性是传感器的两个主要指标,SAW压力传感器的量程由基片材料的结构尺寸决定,温度效应一般采用双端对谐振器来消除,目前关于两个谐振器的位置确定还没有一个确定的方法。通过力学分析得出了圆形石英膜片的半径、厚度、和最大...
关键词：SAW压力传感器 敏感片结构 谐振器位置 有限元 
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