体声波

作品数：276被引量：294H指数：8
导出分析报告
相关领域：电子电信更多>>
相关作者：庞慰高杨李国强杨清瑞马晋毅更多>>
相关机构：诺思(天津)微系统有限责任公司天津大学三星电机株式会社武汉敏声新技术有限公司更多>>
相关期刊：更多>>
相关基金：国家自然科学基金国家重点实验室开放基金中国工程物理研究院电子工程研究所科技创新基金国家高技术研究发展计划更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-10
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
空腔型薄膜体声波滤波器的关键技术进展
《无机材料学报》2025年第2期128-144,共17页陶桂龙 支国伟 罗添友 欧阳佩东 衣新燕 李国强 
国家重点研发计划(2022YFB3604500,2022YFB3604501)。
随着通信技术升级以及5G通信应用的驱动,各种智能设备所需的滤波器数量激增,促进了滤波器市场的繁荣,但对其性能要求也越来越高,例如大带宽、高频率、高功率容量、微型化、集成化以及低成本等指标是学术界与产业界重点关注的方向,而基...
关键词：FBAR滤波器 理论研究 AlN压电薄膜 技术融合 综述 
高阻带抑制FBAR滤波器
《压电与声光》2025年第1期24-27,共4页唐小龙 陈艳兵 金中 吴高米 张必壮 蒋平英 
采用一维Mason模型,研究了薄膜体声波谐振器(FBAR)压电层/电极膜厚比对有效机电耦合系数的影响。随着压电层膜厚占比的增加,谐振器有效机电耦合系数逐渐增大,通过膜厚优化和流片实现了高频FBAR谐振器的研制。在采用梯形电路结构的基础上...
关键词：薄膜体声波谐振器(FBAR) 滤波器 高阻带抑制 Mason模型 高频 
ICP刻蚀Mo侧壁角度及刻蚀速率的研究
《压电与声光》2025年第1期59-62,共4页田本朗 梁柳洪 何成勇 罗淦 郭耀祖 米佳 
采用基于Cl基气体的电感耦合等离子体(ICP)干法刻蚀设备对金属Mo薄膜进行刻蚀,研究了刻蚀条件对侧壁角度以及刻蚀速率的控制。通过调节ICP干法刻蚀过程中射频源功率、ICP离子源功率、腔体压力、混合气体流量比例等工艺参数,实现了14.8°...
关键词：电感耦合等离子体(ICP) MO 薄膜体声波谐振器(FBAR) 侧壁角度 刻蚀速率 
基于特超声声流体隧道的荧光激活细胞分选技术
《分析试验室》2025年第1期22-28,共7页唐冰怡 王亚平 魏巍 段学欣 
国家自然科学基金(62174119)资助。
基于声流控技术开发了一个完整的荧光激活细胞分选(FACS)系统。该系统利用固体装配型薄膜体声波谐振器(SMR)在微流道中产生的声流体隧道,结合荧光识别激活程序,实现了对单个目标颗粒和细胞的高精度捕获、分选,具有检测和分选目标颗粒物...
关键词：声流控 荧光激活细胞分选 体声波 固体装配型谐振器 
射频前端声学滤波器研发态势研究
《高技术通讯》2024年第12期1318-1329,共12页李秾 蒲文华 孙慧娄 
中央级公益性科研院所基本科研业务费专项资金(ZD2024-10)资助项目。
射频(RF)前端是无线通信系统的关键组成部分,而射频前端滤波器则是射频前端中的核心元器件。声学滤波器因其在性能、成本和尺寸上的综合优势,已成为移动通信领域应用的主流滤波器。本文基于专利数据,结合产业数据,对射频前端声学滤波器...
关键词：射频(RF)前端 声学滤波器 声表面波(SAW) 体声波(BAW) 专利分析 
一种小型化高性能薄膜体声波双工器设计方法
《压电与声光》2024年第5期655-659,共5页张智欣 陈长娥 韩茜茜 史向龙 魏家贵 苏波 范佰杰 林树超 
针对射频前端对双工器小型化的使用需求,采用拓扑结构设计、匹配设计、版图设计和封装设计等设计方法,研制出一款小型化高性能薄膜体声波(FBAR)双工器,其接收端频率为1805~1880 MHz,发射端频率为1710~1785 MHz,通带内整体插入损耗≤3.0 ...
关键词：高性能薄膜体声波(FBAR) 双工器 小型化 高隔离 低插损 
尘埃等离子体中的广义变系数模型及其解
《潍坊学院学报》2024年第5期4-8,共5页郭婷婷 
尘埃等离子体声波的传播可以用广义变系数KP模型来刻画。基于Hirota双线性方法和多元变换技巧,将(2+1)维KP方程和广义变系数KP方程联系起来,运用符号计算,推导出广义变系数KP方程的多重共振孤波解,通过图像分析振幅和运动的方向。解的...
关键词：尘埃等离子体声波 广义变系数KP方程 多元变换技巧 孤子解 
薄膜体声波谐振器FBAR技术在滤波器的应用研究及其专利数据分析被引量：1
《价值工程》2024年第22期155-158,共4页李文婷 刘展鹏 
本文简单介绍了薄膜体声波谐振器FBAR的具体结构、工作原理以及FBAR技术的应用,重点介绍了FBAR技术在滤波器的应用及其工作原理,梳理了常见的几种FBAR滤波器结构,最后通过检索分析,从多个角度对FBAR技术在滤波器应用领域的专利申请进行...
关键词：薄膜体声波谐振器 FBAR滤波器 滤波器结构 专利分析 
C波段横向激励薄膜体声波谐振器设计与制备
《压电与声光》2024年第3期285-289,共5页吴高米 马晋毅 李尚志 司美菊 唐小龙 蒋世义 江洪敏 张祖伟 
重庆市博士后科学基金资助项目(CSTB2023NSCQ-BHX0030)。
针对未来移动通信对射频前端器件提出的多频率、高集成新要求,开展了兼具声表面波(SAW)谐振器和薄膜体声波谐振器(FBAR)技术特点的新型横向激励兰姆波谐振器研究。该文介绍了基于c轴择优取向氮化铝(AlN)压电薄膜的C波段横向激励薄膜体...
关键词：压电微机电系统(MEMS)器件 C波段射频滤波器 横向激励薄膜体声波谐振器(XBAR) 多频率 高集成 
背腔刻蚀型横向激励薄膜体声波谐振器制备技术研究
《压电与声光》2024年第3期296-299,共4页徐阳 司美菊 吴高米 刘文怡 巩乐乐 甄静怡 余奇 陈金琳 
随着移动通信技术的快速发展,薄膜体声波滤波器逐渐向高频和大带宽方向发展。该文研究了POI(LiNbO_(3)/SiO_(2)/Si)基片上背腔刻蚀型横向激励薄膜体声波谐振器制作工艺,通过研究POI基IDT光刻、背腔硅刻蚀等工艺,确定了IDT层曝光量和背...
关键词：干法刻蚀 刻蚀速率 横向激励 机电耦合系数 薄膜体声波谐振器 
全选清除导出
共28页<12345678910>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部