李媛

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供职机构：延边大学理学院物理系更多>>
发文主题：场发射特性场发射氮化硼薄膜硅尖英文更多>>
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沉积在硅尖上的氮化硼薄膜的场发射特性(英文)
《延边大学学报（自然科学版）》2009年第1期36-39,85,共5页姜坤 李媛 顾广瑞 
利用射频磁控溅射方法,在硅尖上沉积了氮化硼(BN)薄膜.红外光谱分析表明,BN薄膜结构为六角BN(h-BN)相(1 380 cm-1和780 cm-1).在超高真空系统中测量了BN薄膜的场发射特性,与沉积在硅片上的BN薄膜比较,沉积在硅尖上的BN薄膜的场发射特性...
关键词：BN薄膜 场发射 硅尖 
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