吕宪义

作品数：72被引量：275H指数：10
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发文主题：金刚石膜金刚石金刚石薄膜金刚石单晶化学气相沉积更多>>
发文领域：理学一般工业技术电子电信化学工程更多>>
发文期刊：《高技术通讯》《功能材料》《无机材料学报》《材料研究学报》更多>>
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金刚石半导体及功率肖特基二极管研究进展和挑战
《真空电子技术》2024年第5期18-28,共11页王启亮 张羿明 李根壮 李柳暗 成绍恒 吕宪义 李红东 邹广田 
吉林省自然科学基金(20240101313JC)。
金刚石作为一种超宽禁带半导体,是下一代功率电子器件和光电子器件最有潜力的材料之一。其产业化仍需解决几个关键技术问题:大尺寸单晶外延生长、高质量晶圆制备技术、高效可控的掺杂技术及先进终端结构。首先,介绍了拼接生长以及异质...
关键词：金刚石 外延生长 位错调控 掺杂技术 功率器件设计 
微波等离子体化学气相沉积法制备大尺寸单晶金刚石的研究进展被引量：6
《电子与封装》2023年第1期30-39,共10页牟草源 李根壮 谢文良 王启亮 吕宪义 李柳暗 邹广田 
广东省重点研发计划(2020B0101690001);四川省自然科学基金(2022NSFSC0886)。
金刚石作为一种超宽禁带半导体,是下一代功率电子器件和光电子器件最有潜力的材料之一。然而,高品质、大面积(大于2英寸)单晶衬底的制备仍是金刚石器件产业应用亟待解决的问题。介绍了目前受到广泛关注的微波等离子体化学气相沉积法(MPC...
关键词：金刚石 微波等离子体化学气相沉积法 三维生长 拼接生长 异质外延 
高速生长CVD金刚石单晶及应用被引量：16
《超硬材料工程》2011年第2期1-5,共5页王启亮 吕宪义 成绍恒 张晴 李红东 邹广田 
国家自然科学基金(No.50772041;51072066);新世纪优秀人才支持计划(NCET;No.06-0303);吉林省科技厅科技发展计划项目(No.20080509)
文章简要地介绍了近年来国内外CVD金刚石单晶的高速生长和应用进展。实验中采用微波等离子体化学气相沉积(CVD)方法,同质外延高速生长金刚石单晶,通过改变反应腔压强、反应气氛(在CH4/H2中引入氮气N2、二氧化碳CO2、氧气O2、)等,调制单...
关键词：高速生长 CVD 金刚石单晶 退火 金刚石工具 
自支撑硼掺杂金刚石膜残余应力和微观应力的XRD分析被引量：4
《材料研究学报》2009年第3期264-268,共5页徐跃 张彤 李柳暗 李红东 吕宪义 金曾孙 
新世纪优秀人才支持计划NCET 06-0303;国家自然科学基金50772041资助项目;超硬材料国家重点实验室自主研究课题~~
利用XRD(包括sin^2ψ法)研究了电子辅助热灯丝化学气相沉积法(EA-HFCVD)生长的自支撑硼掺杂多晶金刚石薄膜的残余应力和微观应力。结果表明,薄膜的残余应力为压应力,随着薄膜制备过程中硼流量的增加,应力值有减小的趋势。薄膜的微观应...
关键词：无机非金属材料 CVD金刚石膜 硼掺杂 XRD 残余应力 微观应力 
微波PCVD法大尺寸透明自支撑金刚石膜的制备及红外透过率(英文)被引量：14
《新型炭材料》2008年第3期245-249,共5页李博 韩柏 吕宪义 李红东 汪剑波 金曾孙 
the National 863 Program of China(2002AA325090)~~
采用微波PCVD方法制备出直径50mm膜厚300μm的大尺寸透明自支撑金刚石膜。在甲烷体积分数2%的条件下制备的透明自支撑金刚石膜经过两面抛光后在500cm-1~4000cm-1红外波段范围内红外透过率达到70%,但是其生长速率只有1μm/h^2μm/h。在...
关键词：微波PCVD 透明自支撑金刚石膜 红外透过率 
氮掺杂金刚石膜的生长特性被引量：2
《Journal of Semiconductors》2008年第6期1152-1155,共4页李明吉 杨保和 孙大智 吕宪义 金曾孙 
国家自然科学基金(批准号:60576011);天津市自然科学重点基金(批准号:05YFJZJC00400;06TXTJJC14701)资助项目~~
采用电子辅助化学气相沉积法(EA-CVD),在含氮气氛中制备出金刚石膜,利用SEM、Raman光谱、EPR测试手段研究了氮气对金刚石膜品质的影响及氮掺杂特性.结果表明,在950℃基片温度下,沉积气氛中掺入氮气后,金刚石膜晶形变为"菜花状",非金刚...
关键词：金刚石膜 EA-CVD方法 膜品质 氮杂质 
放电电流对热阴极等离子体化学气相沉积金刚石膜影响
《大连理工大学学报》2007年第3期313-316,共4页白亦真 金曾孙 吕宪义 韩雪梅 
建立了快速沉积高品质金刚石膜的热阴极辉光放电等离子体化学气相沉积新方法．相对于常规冷阴极辉光放电而言，热阴极辉光放电是一种新型放电形式，具有许多新的特性，其中重要一点是具有较高的放电电流（6．0～10．0A）．较高的放电电...
关键词：放电电流 热阴极 等离子体化学气相沉积 金刚石膜 
金刚石膜的氮掺杂行为被引量：3
《新型炭材料》2007年第2期183-187,共5页李明吉 吕宪义 孙宝茹 李春燕 李博 金曾孙 
国家863新材料领域研究资助项目~~
采用电子辅助化学气相沉积法(EA-CVD)制备了氮掺杂金刚石膜,用SEM、Raman光谱、XPS、EPR等测试手段研究了金刚石薄膜的品质和膜中的氮杂质状态。结果表明,随着氮气流量的增加,金刚石膜的形貌从完整的晶面逐渐变为与(100)面共存的“菜花...
关键词：金刚石膜 EA-CVD方法 膜品质 氮杂质 
掺硼多晶金刚石膜的电化学性能研究被引量：10
《高等学校化学学报》2006年第11期2136-2139,共4页李春燕 潘凯 吕宪义 李明吉 刘兆阅 白玉白 李博 金曾孙 
国家'八六三'计划(批准号:2002AA325090)资助
采用EACVD(E lectron Assisted Chem ical Vapor Deposition)方法制备了掺硼金刚石膜,并用扫描电镜、拉曼光谱及霍尔效应等测试方法对其表面形貌、生长特性、载流子浓度以及导电性能进行了分析.测试结果表明,掺硼金刚石膜是由微米级晶...
关键词：掺硼金刚石膜 电化学电极 循环伏安法 生物制剂检测 
金刚石膜制备工艺对其应力-应变特性的影响被引量：1
《吉林大学学报（理学版）》2006年第5期784-786,共3页白亦真 吕宪义 韩雪梅 金曾孙 吕天山 白媛 
"863"计划新材料领域资助项目基金(批准号:2002AA325090)
研究了在直流热阴极辉光放电等离子体化学气相沉积制备金刚石厚膜的工艺过程中,放电电流和甲烷浓度对金刚石膜应力-应变特性的影响规律.
关键词：化学气相沉积 金刚石膜 应力-应变 
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