李柳暗

作品数：4被引量：12H指数：2
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供职机构：吉林大学更多>>
发文主题：金刚石硼掺杂金刚石表面碳化硅复合材料大粒径更多>>
发文领域：电子电信化学工程理学更多>>
发文期刊：《电子与封装》《材料研究学报》《真空电子技术》更多>>
所获基金：四川省自然科学基金国家自然科学基金教育部“新世纪优秀人才支持计划”国家重点实验室开放基金更多>>
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金刚石半导体及功率肖特基二极管研究进展和挑战
《真空电子技术》2024年第5期18-28,共11页王启亮 张羿明 李根壮 李柳暗 成绍恒 吕宪义 李红东 邹广田 
吉林省自然科学基金(20240101313JC)。
金刚石作为一种超宽禁带半导体,是下一代功率电子器件和光电子器件最有潜力的材料之一。其产业化仍需解决几个关键技术问题:大尺寸单晶外延生长、高质量晶圆制备技术、高效可控的掺杂技术及先进终端结构。首先,介绍了拼接生长以及异质...
关键词：金刚石 外延生长 位错调控 掺杂技术 功率器件设计 
GaN基互补型逻辑电路的研究进展及挑战被引量：2
《电子与封装》2023年第1期1-10,共10页张彤 刘树强 何亮 成绍恒 李柳暗 敖金平 
国家自然科学基金(61904207);四川省自然科学基金(22NSFSC0886)。
氮化镓(GaN)基异质结场效应晶体管具有工作频率高、导通损耗低等优点,已经开始广泛应用在多种高频、高效功率转换器中。为了充分发挥GaN功率器件的潜能,需要将功率开关器件和控制器、驱动等外围电路进行全GaN单片集成以减少寄生参数。...
关键词：GAN 功率集成电路 增强型器件 互补金属-氧化物-半导体 逻辑电路 稳定性 
微波等离子体化学气相沉积法制备大尺寸单晶金刚石的研究进展被引量：6
《电子与封装》2023年第1期30-39,共10页牟草源 李根壮 谢文良 王启亮 吕宪义 李柳暗 邹广田 
广东省重点研发计划(2020B0101690001);四川省自然科学基金(2022NSFSC0886)。
金刚石作为一种超宽禁带半导体,是下一代功率电子器件和光电子器件最有潜力的材料之一。然而,高品质、大面积(大于2英寸)单晶衬底的制备仍是金刚石器件产业应用亟待解决的问题。介绍了目前受到广泛关注的微波等离子体化学气相沉积法(MPC...
关键词：金刚石 微波等离子体化学气相沉积法 三维生长 拼接生长 异质外延 
自支撑硼掺杂金刚石膜残余应力和微观应力的XRD分析被引量：4
《材料研究学报》2009年第3期264-268,共5页徐跃 张彤 李柳暗 李红东 吕宪义 金曾孙 
新世纪优秀人才支持计划NCET 06-0303;国家自然科学基金50772041资助项目;超硬材料国家重点实验室自主研究课题~~
利用XRD(包括sin^2ψ法)研究了电子辅助热灯丝化学气相沉积法(EA-HFCVD)生长的自支撑硼掺杂多晶金刚石薄膜的残余应力和微观应力。结果表明,薄膜的残余应力为压应力,随着薄膜制备过程中硼流量的增加,应力值有减小的趋势。薄膜的微观应...
关键词：无机非金属材料 CVD金刚石膜 硼掺杂 XRD 残余应力 微观应力 
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