孙大智

作品数：8被引量：22H指数：3
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发文领域：电子电信一般工业技术理学化学工程更多>>
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基于电感耦合氧等离子体金刚石膜表面修饰的功率优化被引量：2
《光电子．激光》2011年第7期1034-1037,共4页张楷亮 王莎莎 王芳 吴小国 孙大智 
国家自然基金资助项目(60806030);天津市科技计划资助项目(08JCYBJC14600,10SYSYJC27700);天津市高等学校科技发展基金计划资助项目(ZD200709)
采用电感耦合等离子体(ICP)氧等离子体刻蚀金刚石膜,探寻金刚石膜表面处理的方法。通过分析不同ICP射频源功率和不同偏压源功率下的刻蚀速率,研究了金刚石膜刻蚀的机理作用;通过拉曼光谱进行表征,分析刻蚀前后sp2与sp3的含量。结果表明,...
关键词：金刚石薄膜 等离子体 电感耦合等离子体(ICP) 刻蚀 
射频磁控溅射法LiNbO_3薄膜的制备及其影响因素研究被引量：1
《天津理工大学学报》2008年第4期39-41,共3页孙大智 熊瑛 杨晓萍 
天津市自然科学基金(023601711)
采用射频磁控溅射法在Si(111)和Si(100)上制备LiNbO3薄膜.通过XRD技术探讨了硅基片取向和所制备的薄膜的取向之间的联系,研究了不同靶材对薄膜的影响,讨论了热处理温度、工艺和所制备的薄膜取向的关系.报道了在Si(111)基片上制备高c轴...
关键词：LiNbO3薄膜 射频磁控溅射 薄膜取向 
氮掺杂金刚石膜的生长特性被引量：2
《Journal of Semiconductors》2008年第6期1152-1155,共4页李明吉 杨保和 孙大智 吕宪义 金曾孙 
国家自然科学基金(批准号:60576011);天津市自然科学重点基金(批准号:05YFJZJC00400;06TXTJJC14701)资助项目~~
采用电子辅助化学气相沉积法(EA-CVD),在含氮气氛中制备出金刚石膜,利用SEM、Raman光谱、EPR测试手段研究了氮气对金刚石膜品质的影响及氮掺杂特性.结果表明,在950℃基片温度下,沉积气氛中掺入氮气后,金刚石膜晶形变为"菜花状",非金刚...
关键词：金刚石膜 EA-CVD方法 膜品质 氮杂质 
纳米金刚石薄膜的制备被引量：8
《光电子．激光》2008年第5期625-627,共3页杨保和 崔建 熊瑛 陈希明 孙大智 李翠平 
国家自然科学基金资助项目(60576011);天津市自然基金重点资助项目(05YFJZJC00400);天津市科技发展计划资助项目(06TXTJJC14701);天津市自然基金资助项目(05YFJMJC05300)
采用微波等离子体化学气相沉积系统,利用氢气、甲烷、氩气和氧气为前驱气体,在直径为5 cm的(111)取向镜面抛光硅衬底上沉积出高平整度纳米金刚石薄膜。利用扫描电镜、X射线衍射谱和共焦显微显微拉曼光谱我们分析了薄膜的表面形貌和结构...
关键词：纳米金刚石薄膜 微波等离子体化学气相沉积 
金刚石/硅复合膜的导热特性研究被引量：6
《光电子．激光》2007年第8期963-965,共3页吴小国 熊瑛 杨保和 李翠平 孙大智 李晓伟 
国家自然科学基金资助项目(60276001);天津市发展计划项目(05YFJZJC00400);天津市自然基金(YFJMJC05300);天津市高等学校科技发展基金项目(20050519)
用金刚石粉,用不同时间在两片镜面抛光的(111)硅基片上分别打磨。两片硅基片打磨后都仍保持镜面特征。采用微波等离子体化学气相沉积系统,利用氢气、甲烷和氧气为前驱气体,在同样参数条件下,在基片上制备了直径5cm的金刚石薄膜。用扫描...
关键词：金刚石 薄膜 热导率 
溅射沉积温度对薄膜生长影响的计算机模拟
《天津理工大学学报》2007年第3期21-23,共3页李化鹏 孙大智 于春花 陈希明 杨保和 
天津市自然科学基金重点项目(06YFJZJC00100);天津市重点实验室基金(2004ZD01)
利用Monte Carlo方法对薄膜生长过程进行计算机模拟.模型针对粒子的沉积、吸附及粒子的扩散等过程,研究了粒子允许行走的最大步数对薄膜生长形貌的影响.结果表明:随温度升高,粒子行走步数增加,薄膜的生长经历了从分散到分形团聚的过程;...
关键词：MONTE CARLO方法 计算机模拟 薄膜生长 分形 
H_2-O_2混合气氛刻蚀制备金刚石纳米晶薄膜被引量：3
《光电子．激光》2006年第7期794-797,共4页熊瑛 杨保和 吴小国 孙大智 李明 洪松 
国家自然科学基金资助项目(60276001);天津市自然科学基金重点资助项目(05YFJZJC00400);天津市自然科学基金资助项目(023601711;05YFJMJC05300);天津市高等学校科技发展基金资助项目(20020621)
提供了在镜面抛光Si衬底上沉积平滑的纳米金刚石(NCD)薄膜的方法。采用微波等离子体化学气相沉积(CVD)系统,利用H2、CH4和O2为前驱气体,在镜面抛光的Si基片上制备了直径为5 cm的NCD薄膜,用扫描电镜(SME)和共焦显微拉曼光谱分析其表面形...
关键词：纳米金刚石(NCD)薄膜 微波等离子体化学气相沉积(CVD) O2 刻蚀机理 
测量多层膜结构中薄膜厚度的一种新方法被引量：3
《光电子．激光》2005年第4期466-469,共4页陈希明 马靖 徐晟 吴小国 孙大智 杨保和 
国家自然科学基金(60276001);天津自然科学基金资助项目(023601711;033700611)
提出一种基于平行板电容测微原理进行多层膜材料的测厚方法。该方法用有效电极直径Φ3 mm电容传感头,通过变化空气隙Δh进行多次测量,对输出电压V值进行线性拟合,得到空气隙与测量电压的关系,计算出被测厚度,测量精度达0.01μm。若采用...
关键词：多层膜结构 薄膜厚度 相对介电常数 电极直径 测量精度 平行板电容 非接触测量 平面度测量 线性拟合 输出电压 测量电压 测量方法 膜厚测量 多层结构 传感头 空气隙 膜材料 成本低 
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