薄膜生长

作品数：491被引量：1016H指数：13
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全无机钙钛矿电池的薄膜生长和稳定性研究
《山西化工》2025年第1期22-26,29,共6页刘昆昊 
太阳能电池作为一种新能源电池,使用太阳能作为能量来源,具有清洁、充足的特点,是发展新能源的重要突破口之一。钙钛矿电池具有优良的光电效应,相比于晶硅类的太阳能电池有更好的光电转换效率,是有良好发展前景的新材料之一。但是钙钛...
关键词：太阳能电池 钙钛矿 稳定性 掺杂 
高能N等离子源辅助GaN薄膜生长及其物性研究
《光电子．激光》2024年第9期987-992,共6页胡海争 贺怀乐 赖黎 王顺利 吴超 郭道友 
国家自然科学基金(62274148);浙江省教育厅一般项目(23060158-F)资助项目。
氮化镓(GaN)具有宽带隙、高量子效率、优异的热稳定和抗辐射等特性,在高频、高功率电子及紫外光电器件中有着重要的作用。在本工作中,采用经济、环保的等离子增强化学气相沉积(plasma-enhanced chemical vapor deposition,PECVD)方法,...
关键词：等离子增强化学气相沉积(PECVD) GAN薄膜 低温沉积 N等离子体 
Ⅲ族氮化物半导体及其合金的原子层沉积和应用被引量：2
《物理学报》2024年第3期50-71,共22页仇鹏 刘恒 朱晓丽 田丰 杜梦超 邱洪宇 陈冠良 胡玉玉 孔德林 杨晋 卫会云 彭铭曾 郑新和 
国家重点研发计划(批准号:2018YFA0703700);国家自然科学基金(批准号:52002021);中央高校基本科研业务费(批准号:FRF-IDRY-GD22-001)资助的课题。
Ⅲ族氮化物半导体由于包含了宽的直接禁带宽度、高击穿场强、高电子饱和速度、高电子迁移率等优异的性质,自从发展以来便成为半导体领域中的一个热点.并且由于其禁带宽度可以从近紫外涵盖到红外区域,因此在传统半导体所难以实现的短波...
关键词：原子层沉积 氮化物半导体 薄膜生长 
三氧化二铁外延薄膜的制备及贯穿位错表征
《电子显微学报》2023年第4期410-416,共7页陶昂 姚婷婷 江亦潇 陈春林 马秀良 叶恒强 
国家自然科学基金资助项目(Nos.52125101,51971224);广东省基础与应用基础研究重大项目基金(No.2021B0301030003);季华实验室项目(No.X210141TL210).
氧化物薄膜中贯穿位错的类型和密度对其物理与化学性质具有重要影响。本文利用脉冲激光沉积技术在Al_(2)O_(3)(0001)和SrTiO_(3)(111)衬底上分别生长了α⁃Fe_(2)O_(3)外延薄膜,并利用X射线衍射、原子力显微镜和透射电子显微术对不同温...
关键词：α⁃Fe_(2)O_(3)薄膜 脉冲激光沉积 薄膜生长 贯穿位错 
集束型纳米薄膜生长系统
《中国科学院院刊》2023年第S01期65-65,共1页
主要技术与性能指标,旋转式高真空传输系统,实现5×10^(−7) Torr的高真空环境,薄膜生长实现原子级别的精准控制,PVD/ALD工艺平台的集成主要应用,全真空环境下器件制备,代表性应用成果。主要用户单位,中国科学院物理研究所、中国科学院...
关键词：高真空 真空环境 传输系统 纳米薄膜 薄膜生长 应用成果 精准控制 器件制备 
深紫外激光光发射电子显微镜
《中国科学院院刊》2023年第S01期36-36,共1页
主要技术与性能指标,PEEM分辨率:≤10 nm,LEEM分辨率:≤5 nm,能量分辨率:≤0.2 eV主要应用,表面分析科学中的表面磁学、表面催化、薄膜生长等,代表性应用成果,磁学研究、表面催化、薄膜生长。主要用户单位,中国科学院空天信息创新研究...
关键词：深紫外激光 表面催化 中国科学院 薄膜生长 表面分析 光发射电子显微镜 能量分辨率 空天信息 
薄膜生长数据自动化采集技术研究被引量：1
《数据与计算发展前沿》2023年第3期29-38,共10页王丹 周明波 李云龙 何露 孙伟轩 林泽丰 李佳豪 竺云 陈其宏 张宝花 袁洁 翁红明 
中国科学院科学网信专项2022年度应用示范项目(CAS-WX2021SF-0102)。
[目的]本研究旨在通过自动化采集薄膜生长数据,从而提高薄膜数据采集的效率,大幅加快薄膜研究及工艺摸索。[应用背景]随着薄膜技术的不断发展和应用,需要对薄膜生长过程进行深入的研究,以便更好地理解薄膜生长的机制。然而,目前的薄膜...
关键词：薄膜生长 数据采集 电子实验记录本 
F、Nb共掺杂高导电SnO_(2)薄膜的研制
《建筑玻璃与工业玻璃》2023年第5期13-17,共5页史国华 刘起英 
SnO_(2)薄膜是重要的透明电极材料,其导电性能主要取决于掺杂方式和制备工艺。由于传统的掺杂工艺及单元素掺杂对薄膜光电性能的改善遇到瓶颈,实施多元共掺杂,利用元素之间的协同增强作用,成为进一步提升薄膜光电性能的重要手段。首先...
关键词：透明电极 结晶取向 浮法玻璃 第一性原理 在线镀膜 光电性能 薄膜生长 共掺杂 
原子层沉积设备控制系统设计被引量：1
《化工自动化及仪表》2023年第1期68-73,共6页毛娃 陈焰 刘振强 
以工控机与数字量输入输出板卡为基础,设计原子层沉积设备控制系统。采用工控机串行通信端口实现真空计、流量计、温度计等数据采集与控制。在N型单晶硅基底表面氧化铝薄膜生长测试中,生长300周期氧化铝薄膜平均厚度为33.84 nm,非均匀性...
关键词：自控系统 原子层沉积设备 薄膜生长 C#语言 工控机 板卡 
5182铝合金表面锆系薄膜生长及其对耐蚀性能的影响
《表面工程与再制造》2022年第5期28-34,共7页高文 李英东 曹以恒 宋小雨 李井泉 刘萌 
为研究5182铝合金表面锆系薄膜生长规律及其对耐蚀性的影响,对5182铝合金进行不同时间的锆系薄膜处理,采用扫描电镜观察了薄膜处理后的表面样品形貌,采用铜加速盐雾试验测试了5182铝合金锆系薄膜+电泳处理后的单边腐蚀性能,并结合辉光...
关键词：5182铝合金 锆系薄膜 耐蚀性 电泳涂层 
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