Design and Fabrication of Thermo-Optic 4×4 Switching Matrix in Silicon-on-Insulator  

SOI热光4×4光开关阵列的研制(英文)

作　　者：王章涛[1] 樊中朝[1] 夏金松[1] 陈少武[1] 余金中[1] 

机构地区：[1]中国科学院半导体研究所集成光电子国家重点联合实验室,北京100083

出　　处：《Journal of Semiconductors》2004年第12期1573-1575,共3页半导体学报（英文版）

基　　金：国家基础研究重点发展计划 (批准号 :G2 0 0 0 0 3 66) ;国家高技术研究发展计划 (批准号 :2 0 0 2 AA3 12 0 60 );国家自然科学基金 (批准号 :60 3 3 60 10 )资助项目~~

摘　　要：A rearrangeable nonblocking thermo-optic 4×4 switching matrix,which consists of five 2×2 multimode interference-based Mach-Zehnder interferometer(MMI-MZI) switch elements,is designed and fabricated.The minimum and maximum excess loss for the matrix are 6.6 and 10.4dB,respectively.The crosstalk in the matrix is measured to be between -12 and -19.8dB.The switching speed of the matrix is less than 30μs.The power consumption for the single switch element is about 330mW.设计和制作了由 5个 2× 2多模干涉马赫 -曾德开关元组成的重排无阻塞型 SOI 4× 4热光开关阵列 .阵列的最小和最大附加损耗分别为 6 .6和 10 .4 d B,阵列的串扰为 - 12～ - 19.8d B,光开关阵列的开关速度小于 30μs,单个开关元的功耗大约为 330 m W.

关 键 词：integrated optics SILICON-ON-INSULATOR matrix switches PLC technology 

分 类 号：TN252[电子电信—物理电子学]