中国电子气体的现状及发展走向  

The Present And Trend of Electronic Gases in China

作　　者：孙福楠[1] 韩美[1] 陈晓惠[1] 王秋娥[1] 林刚[1] 田波[1] 梁玉[1] 

机构地区：[1]光明化工研究设计院,辽宁大连481信箱116031

出　　处：《低温与特气》2004年第6期5-9,共5页Low Temperature and Specialty Gases

摘　　要：详细地介绍了中国电子气体的技术现状。从光电子、微电子生产中具体使用的几种主要气体的工艺制造上进行了极为详细的介绍。同时 。Detailed introduced the technology present of electronic gases in China. Detailed introduced the process of some main gases which used in the production of photoelectron and microelectronics . At the same time , look forward to the future of electronic gases .

关 键 词：电子气体 工艺制造 现状 展望 

分 类 号：F426.7[经济管理—产业经济]