铜薄膜电阻温度传感器的研制  

作　　者：李光云[1] 陈佩娴[1] 杨年光 张振昭[2] 曾广兴[2] 

机构地区：[1]华南师范大学 [2]广东工学院

出　　处：《仪表技术与传感器》1993年第4期10-12,共3页Instrument Technique and Sensor

摘　　要：本文分析了铜膜电阻温度传感器的工作原理,介绍了光刻掩模板的图形设计和制造工艺,并对实验结果进行了讨论。

关 键 词：铜薄膜电阻 温度传感器 响应性能 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]