张振昭

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铜薄膜电阻温度传感器的研制
《仪表技术与传感器》1993年第4期10-12,共3页李光云 陈佩娴 杨年光 张振昭 曾广兴 
本文分析了铜膜电阻温度传感器的工作原理,介绍了光刻掩模板的图形设计和制造工艺,并对实验结果进行了讨论。
关键词：铜薄膜电阻 温度传感器 响应性能 
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