场离子-扫描隧道显微镜  

FIELD ION—SCANNING TUNNELING MICROSCOPE

作　　者：陆华[1] 樱井利夫[2] 

机构地区：[1]中国科学院表面物理实验室,北京100080 [2]日本东北大学金属研究所

出　　处：《真空科学与技术》1993年第3期186-194,共9页Vacuum Science and Technology

摘　　要：由IBM的Binnig和Rohrer发明的扫描隧道显微镜STM是基于与原先的各种表面研究手段完全不同的原理,能直接观察一个个表面原子并能测出每个原子位置上的电子状态的划时代的表面研究装置。STM之所以引起表面科学工作者的注目主要原因是由于它能在极高的空间分辨率(dX/Y～0.1nm,dz～0.01nm)下直接观察表面的原子结构。而且,它不一定需要超高真空条件,而可以在大气或溶液等环境中操作。这是以往任何一种表面研究手段不可能做到的。然而,即使如此,STM也暴露出它的弱点,如操作特性的不稳定性以及操作过程中原子分辨能力的不可控性。很显然主要原因是扫描探针的尖端曲率半径及其稳定性。为了在STM实验中随时监测其扫描探针尖端的原子排列状况,Kuk及Sakurai等人先后设计研制了一种将场离子显微镜FIM和STM组合在一起的复合型场离子-扫描隧道显微境FI-STM。使用这种仪器可以确保在极高的原子分辨的情况下从事STM研究。下面将就FIM的原理、STM的基础、FI-STM的技术细节以及它的应用实例作简单的介绍。The pioneering work in combining the STM with the FIM was successfully carried out by Kuk et al. At present the FI-STM set up in Sakurai's Lab. is a new type of instrument developed by Prof. T. Sakurai and his associates where the FI image can be obtained at room temperature. Thus, it is possible to operate both the STM and FIM almost simultaneously in atomic resolution level. The details of this instrument and its unique feature are described in this review.

关 键 词：场离子显微镜 STM 

分 类 号：TN16[电子电信—物理电子学]