氮和碳对洁净区宽度的影响  

INFLUENCE OF NITROGEN AND CARBON ON THE WIDTH OF DENUDED ZONE

作　　者：佘思明[1] 刘培东 

机构地区：[1]中南工业大学应用物理与热能工程系,长沙410083

出　　处：《中南矿冶学院学报》1993年第6期826-830,共5页

基　　金：国家教委高等学校科学技术基金

摘　　要：氮与碳的存在,降低了产生氧沉淀的初始间隙氧浓度的阈值,使洁净区宽度缩小。The influence of nitrogen and carbon on the width of denuded zone has been investigated in this paper. The experimental results indicate that nitrogen and carbon may significantly decrease the [O_i]_0~c, resulting in shallower denuded zone.

关 键 词：直拉硅 洁净区 杂质 半导体材料 

分 类 号：TN304.12[电子电信—物理电子学]