GaAs电阻的压电调制效应  

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作  者:黄庆安 童勤义 

机构地区:[1]东南大学微电子中心,南京210018

出  处:《中国科学(A辑)》1993年第5期526-530,共5页Science in China(Series A)

摘  要:木文提出了GaAs电阻的压电调制概念。用悬臂梁的例子,从理论和实验上研究了GaAs电阻的压电调制效应,并指出该效应与应力梯度有关。

关 键 词:传感器 GAAS器件 压电效应 

分 类 号:TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]

 

参考文献:

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