全硅集成光学──理论与工艺(Ⅱ)(续一)──第二讲 1.3~1.6μm硅光探测器  

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作  者:李国正[1] 李道全[1] 赵策洲[1] 

机构地区:[1]西安交通大学电子工程系,西安电子科技大学历电子所

出  处:《半导体光电》1994年第2期178-190,共13页Semiconductor Optoelectronics

摘  要:全硅集成光学──理论与工艺(Ⅱ)(续一)──第二讲1.3~1.6μm硅光探测器李国正(副教授)李道全(西安交通大学电子工程系,西安710049)赵策洲(西安电子科技大学历电子所,西安710071)1引言由于本征硅材料的长波吸收极限为1.1μm,因此用...

关 键 词:集成光学 全硅集成光学 硅光探测器 

分 类 号:TN25[电子电信—物理电子学]

 

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