CCD光栅数显量具  

A CCD Grating Digital Display Measuring Appliance

作　　者：杨金玉[1] 陆仁夏[1] 

机构地区：[1]西安电子科技大学

出　　处：《半导体光电》1994年第3期270-272,共3页Semiconductor Optoelectronics

摘　　要：提出了一种用低位数线阵ＣＣＤ及粗光栅制作数显量具的新方法，分析了该方法的测量精度和速度，并给出了实测结果。

关 键 词：CCD器件 光栅 数显量具 低位数线阵 

分 类 号：TH741.6[机械工程—光学工程]