半导体超晶格物理与器件（13）  

作　　者：彭英才[1] 

机构地区：[1]河北大学电子与信息工程系

出　　处：《半导体杂志》1994年第3期47-53,共7页

摘　　要：半导体超晶格物理与器件（１３）彭英才（河北大学电子与信息工程系０７１００２）三、半导体表面与异质结界面的ＳＴＭ观测扫描隧道显微镜（ＳｃａｎｎｉｎｇＴｕｎｎｅｌｉｎｇＭＩｃｒｏｓｔｏｐｙ－ＳＴＭ）是８０年代的初期发展起来的一种新型表面分析技术［２３］。...

关 键 词：半导体器件 超晶格物理 异质结 

分 类 号：TN303[电子电信—物理电子学]