硅压力传感器的灵敏度和非线性分析  

作　　者：周南生 居水荣[1] 宫俊[1] 张文敏[1] 

机构地区：[1]西安电子科技大学微电子所,西安710071

出　　处：《传感技术学报》1994年第4期48-51,共4页Chinese Journal of Sensors and Actuators

摘　　要：灵敏度和非线性是表征硅压阻式压力传感器性能的两个最重要参数,这是压力传感器的设计目标.最初出现的硅压阻式压力传感器都采用圆形均厚膜设计。

关 键 词：压力传感器 灵敏度 非线性 硅压阻式 

分 类 号：TH812[机械工程—仪器科学与技术]