MCT的ECR—RIE  

作　　者：甘奇志 

出　　处：《等离子体应用技术快报》1994年第8期2-4,共3页

关 键 词：半导体蚀刻 电子回旋共振 等离子体蚀刻 

分 类 号：TN305.2[电子电信—物理电子学] TN304.205