ECR等离子体辅助射频溅射SrTiO3薄膜  

作　　者：乐川 若可 

出　　处：《等离子体应用技术快报》1994年第12期5-6,共2页

关 键 词：ECR 等离子体 射频溅射 薄膜 钛酸锶 

分 类 号：TN405[电子电信—微电子学与固体电子学]