MCM的主要制造技术  被引量:2

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作  者:王毅[1] 

机构地区:[1]航天工业总公司西安微电子研究所

出  处:《电子工业专用设备》1994年第4期15-24,共10页Equipment for Electronic Products Manufacturing

摘  要:MCM是典型的高技术和多技术产品,它的各项制造技术正从开发阶段转入实用化。本文扼要介绍MCM的主要制造技术,包括基板技术、布线技术、LSI裸芯片焊接技术、检测技术,最后介绍各种MCM的技术特征及不同MCM厂家的特点,供意欲涉足MCM的读者参考。

关 键 词:多芯片组件 MCM 功能模块 微封装技术 制造 

分 类 号:TN305[电子电信—物理电子学]

 

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