用光敏玻璃制作微透镜列阵  

Fabrication of microlens arrays using photosensitive glass

作　　者：罗风光[1] 曹明翠[1] 李洪谱[1] 艾军[1] 徐军[1] 

机构地区：[1]华中理工大学,激光技术国家重点实验室

出　　处：《光学技术》1994年第3期19-20,共2页Optical Technique

基　　金：国家自然科学基金;863高技术计划和国防科工委基金

摘　　要：对特种光敏玻璃及其微透镜列阵的成型机理及制作工艺进行了研究。采用六角密排结构，在远紫外线下曝光，问时进行热循环处理，成功制作出直径为４００μｍ、表面凸起高度达９．０μｍ的微透镜列阵。In this paper,the research of he microlens arrays formation in photosensitive glass is made.The photosensitive glass is exposed using a deep UV light exposure unit and heated through a thermal cycle with a hxagonal closed packed arrangement,a microlens arrays with dismeter of 400μm,sag of 9μm is fabricated in our experiment.

关 键 词：光敏玻璃 微透镜列阵 热处理 

分 类 号：TQ171.734[化学工程—玻璃工业]