光敏玻璃

作品数：29被引量：32H指数：3
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三维集成封装中光敏玻璃通孔制备工艺研究被引量：1
《集成技术》2023年第6期93-102,共10页王刚 叶刚 李奇哲 周超杰 夏晨辉 
玻璃通孔转接板是一种典型的垂直传输结构,广泛应用于三维集成封装电路。根据射频信号对小直径、窄节距垂直通孔的使用需求,该文基于光敏玻璃衬底,采用紫外光曝光、热处理以及湿法刻蚀方法,获得了深宽比为8∶1,最小直径为25.68μm的玻...
关键词：玻璃通孔 三维集成 光敏玻璃 曝光 深宽比 
曝光时不同载具对光敏玻璃通孔工艺的影响被引量：1
《中国集成电路》2023年第8期65-69,共5页刘书利 叶刚 李奇哲 夏晨辉 
基于光敏玻璃,采用紫外光曝光、热处理以及湿法刻蚀方法制备出玻璃通孔,研究了曝光过程中不同反射率载具对玻璃通孔工艺的影响,揭示了光敏玻璃曝光时的改性过程。实验结果表明,曝光量相同时,反射率高的载具有益于玻璃通孔的制备。
关键词：光敏玻璃 玻璃通孔 载具 改性过程 
基于光敏玻璃的高深径比微孔制作技术
《电子工艺技术》2022年第3期139-142,共4页张健 李彦睿 王文博 王春富 秦跃利 张湉 徐飞 何建 
基于FOTURAN②Ⅱ型光敏玻璃基板,研究曝光烧结腐蚀、激光诱导腐蚀和激光诱导烧结腐蚀三种高深径比微孔制作技术,分别从微孔的圆度、侧壁倾角和深径比的角度分析,并与普通玻璃微孔制作进行对比。结果表明,曝光处理光敏玻璃获得的微孔圆...
关键词：光敏玻璃 玻璃通孔 高深径比 激光诱导 
基于玻璃衬底的三维电感器件的仿真与实现被引量：1
《固体电子学研究与进展》2021年第6期419-424,共6页王磊 惠科晴 薛恺 姜峰 于大全 
国家自然科学基金资助项目(61974121);江苏省专用集成电路设计重点实验室开放课题资助项目(2020KL0P011);江苏信息职业技术学院人才启动经费资助项目[10072020028(006)]。
为了实现射频电子系统中对高品质因数电感的迫切需求,首先基于玻璃衬底建立了三维电感的电磁仿真模型,并从槽深度、线宽、线间距、电感线圈内径和匝数等方面对电感的电感值及其品质因数Q进行了参数化的仿真研究。仿真结果表明,玻璃衬底...
关键词：集成电感 玻璃槽电感 玻璃通孔 光敏玻璃 深槽填充 
光敏玻璃微晶化过程中的交流阻抗谱研究
《电子元件与材料》2021年第11期1082-1087,共6页陈晓茜 李自强 罗天勇 
为了推进光敏微晶玻璃的器件化应用,需要开发一种对其结晶过程和结晶性能进行无损监测表征的方法。因此,针对Li_(2)O_(3)-Al_(2)O_(3)-SiO_(2)系光敏微晶玻璃在不同曝光时间后的各工艺阶段的特征阻抗谱进行了比较研究。研究结果发现,其...
关键词：光敏微晶玻璃 交流阻抗 极化电阻 结晶 
基于光敏玻璃的垂直互连通孔仿真与电镀工艺研究被引量：15
《北京理工大学学报》2018年第1期52-57,共6页林来存 王启东 邱德龙 伍恒 薛恺 于大全 曹立强 
国家重大专项基金资助项目(2013ZX02502)
本文对玻璃通孔与硅通孔垂直互连结构进行了电磁场仿真,并对比了两者的高频传输特性,结果显示在20GHz处,玻璃通孔与硅通孔的插入损耗分别为-0.024dB和-1.62dB,玻璃通孔的高频传输性能明显优于硅通孔.基于光敏玻璃衬底,采用高刻蚀速率的...
关键词：转接板技术 光敏玻璃 玻璃通孔 电流密度 填充工艺 
我国研制成功新型中紫外直接光刻机
《今日电子》2017年第5期23-23,共1页Mary 
近日,一种新型的中紫外直接光刻机由中国科学院光电技术研究所微电子专用设备研发团队研制成功。该设备采用特有的高均匀、高准直中紫外照明技术,结合光敏玻璃材料,实现基于光敏玻璃基底的微细结构直接加工,能够极大简化工艺流程,将有...
关键词：光刻机 紫外 电子专用设备 微细结构 光敏玻璃 光电技术 直接加工 中国科学院 
肖特在日本推出新型光敏玻璃
《建筑玻璃与工业玻璃》2016年第4期37-37,共1页
德国的特种玻璃厂商肖特（SCHOTY）将在日本市场推出光敏玻璃“FOTURANII”，该产品可在紫外线照射下结晶化，可用做半导体及生物技术领域的玻璃基板。
关键词：光敏玻璃 日本市场 生物技术领域 紫外线照射 特种玻璃 玻璃基板 结晶化 半导体 
基于紫外纳秒脉冲激光的微加工系统设计与实验分析被引量：2
《应用激光》2014年第2期126-130,共5页刘春阳 隋新 杨芳 马伟 薛玉君 李济顺 傅星 
国家科技重大专项资助项目(项目编号:2012ZX04004011);河南省教育厅资助项目(项目编号:14B460028);河南科技大学校青年基金资助项目(项目编号:2012QN0025);创新基金资助项目(项目编号:20132CX009)
介绍了紫外纳秒脉冲激光微加工系统的设计,以及利用该系统对不同材料的样品进行加工实验分析。系统采用355nm波长的紫外纳秒脉冲激光作为加工光源,设计了光路机械结构和基于DSP和FPGA的运动控制板,驱动3D运动平台带动样品运动实现加工...
关键词：紫外纳秒脉冲激光 微加工 硅 光敏玻璃 
光热折变体光栅变波长读出特性及稳定性研究被引量：2
《光学学报》2013年第1期55-60,共6页万玉红 林琳 刘国庆 陶世荃 江竹青 王大勇 
北京市人才强教深化计划中青骨干教师项目(006000543112518);北京市教委项目-科技创新平台-自然科学基金研究基金(JX006111201001)资助课题
光热折变体光栅是在光敏玻璃材料中利用光热折变效应记录的折射率型体全息光栅,具有波长和角度选择性好、衍射效率高、热稳定性好和抗损伤阈值高等特点,在激光器技术领域中具有独特的优势。在自行制备的光敏玻璃材料中,用325nm波长的紫...
关键词：光栅 体全息光栅 光敏玻璃 光热折变效应 稳定性 光致饱和效应 
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