应用于精密工程的宽范围原子力显微镜研究  

Atomic Force Microscope of Wide Scanning Range Used in Precision Engineering

作　　者：张鸿海[1] 曹伟[1] 江福祥[1] 李文菊[1] 周学夫[1] 师汉民[1] 陈日曜[1] 

机构地区：[1]华中理工大学,华中理工大学机械科学与工程学院

出　　处：《湖北工学院学报》1994年第3期1-6,共6页

基　　金：国家教委博士点基金

摘　　要：本文描述了一种用于精密工程中超精密测量的宽范围原子力显微镜．当用管状扫描器工作时，测量范围可达２×２μｍ２，能获得原子级的分辨率．当用新开发的宽范围工作台扫描时，测量范围可为１４０×１４０μｍ２，分辨率可在１～１００ｎｍ之间调节．The atomic force microscope of wide scanning range used in precision engineering ispresented.The atomic resolution of high oriented graphite can be obtained scanning with a tubescanner in the range of 2 ×2μm2. When a new developed elastic stage is used,the wide scanning range of 140 ×140μm2 can be reached,and the resolution of x,y directions can be adjustedin the range of 1～100nm .

关 键 词：精密工程 原子力显微镜 超精密测量 

分 类 号：TN16[电子电信—物理电子学]