曹伟

作品数：14被引量：10H指数：1
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供职机构：华中理工大学机械科学与工程学院更多>>
发文主题：纳米级原子力显微镜扫描隧道显微镜扫描探针显微镜宽范围更多>>
发文领域：金属学及工艺机械工程电子电信化学工程更多>>
发文期刊：《仪器仪表学报》《计量学报》《制造技术与机床》《工具技术》更多>>
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隧道式纳米级轮廓仪的研究
《制造技术与机床》1996年第12期15-17,共3页李文菊 张鸿海 曹伟 师汉民 
国家自然科学基金
介绍两种结构形式的基于电子隧道效应的纳米级三维轮廓仪。其纵向分辨率可达０．０２ｎｍ，横向分辨率可达０．２ｎｍ，扫描范围分别为４０μｍ×４０μｍ和１４μｍ×１４０μｍ。可直接对φ５０ｍｍ和φ１３０ｍｍ的大尺寸样品表面进...
关键词：纳米级 隧道效应 三维 轮廓仪 
基于分形特征的表面微观形貌模拟和分析被引量：4
《华中理工大学学报》1996年第7期22-24,共3页陆涛 曹伟 师汉民 张鸿海 
国家自然科学基金
用Ｗ－Ｍ模型模拟了分形表面并用所设计的分形算法对其进行分形分析，分析结果与理论值相符，最后，用该分形算法对ＳＴＭ检测的超精密表面微观形貌进行分析．
关键词：表面微观形貌 随机分形 W-M模型 STM 
用于纳米制造具有xyz微定位的扫描探针显微镜
《仪器仪表学报》1996年第S1期381-381,共1页张鸿海 曹伟 师汉民 陈日曜 
国家自然基金
用于纳米制造具有ｘｙｚ微定位的扫描探针显微镜张鸿海，曹伟，师汉民，陈日曜（华中理工大学）扫描探针显微镜已广泛用于纳米级尺度的检测，同时也能用于在半导体表面上产生纳米级的结构，即用于纳米级的制造技术。尽管纳米制造可用成...
关键词：纳米制造 微定位器 扫描探针显微镜 行走机构 纳米级 高定向石墨 位移分辨率 表面成像 制造技术 华中理工大学 
STM纳米级轮廓仪的研制
《仪器仪表学报》1996年第S1期384-387,共4页曹伟 张鸿海 师汉民 杨叔子 
国家自然基金
本文针对超精密加工表面纳米级（０．１～１００ｎｍ）形貌的检测需要，设计并研制出了适用性很强的ＳＴＭ纳米级轮廓仪。为测量大试件和提高ＳＴＭ的扫描范围，本文采用了简化的定位机构并给出了一套ＳＴＭ陶管扫描器的补偿方法。所研...
关键词：轮廓仪 纳米级 扫描器 原子力显微镜 定位机构 机械定位 扫描范围 驱动电压 陶管 纵向分辨率 
一种宽范围扫描隧道显微镜
《计量学报》1996年第3期226-228,共3页曹伟 张鸿海 周学夫 江福祥 师汉民 杨叔子 
国家自然科学基金
给出了针对超精表面纳米形貌检测需要而研制的一种实用型宽范围扫描隧道显微镜(STM),扫描范围为40×40×10μm^3,配有一个放大倍数可调的光学显微镜帮助选择视场,可测量较大尺寸试件。实验表明,该STM所测图像清晰、使用方便、结构简单,...
关键词：扫描隧道显微镜 超精密测量 纳米技术 显微镜 
铸造水玻璃砂粘结性能研究新方法被引量：1
《湖北工业大学学报》1995年第S1期6-9,14,共5页肖波 徐正达 王秀萍 曹伟 张洪海 黄乃瑜 
用高新纳米测试技术──多功能模块式扫描探针显微镜（ＳＰＭ）成功地测定出了微波硬化水玻璃膜和ＣＯ２硬化水玻璃膜的纳米微观形貌和胶粒大小．同时，还用透射电镜研究了微波硬化水玻璃和ＣＯ２硬化水玻璃胶粒尺寸，补充和证明了多功...
关键词：水玻璃砂 粘结强度 微波硬化 纳米微观分析 
具有宽测量范围的扫描探针显微镜被引量：1
《仪器仪表学报》1995年第S1期138-142,共5页张鸿海 李文菊 周学夫 曹伟 
国家自然基金;国家教委博士点基金
本文介绍了具有宽测量范围（１４０×１４０μｍ２）的高灵敏度扫描探针显微镜，它能对Φ１３０ｍｍ的磁盘、光盘表面纳诺形貌和集成电路芯片光刻质量等进行多模式测量。本文给出了部分试验结果，如高定向石墨的原子图像与光栅和超精密...
关键词：宽测量范围 扫描探针显微镜 力传感器 超精密磨削 高定向石墨 扫描热显微镜 电子反馈回路 隧道电流 测量原理 隧道结 
基于隧道效应的原子力显微镜的研制被引量：2
《仪器仪表学报》1995年第S1期143-147,共5页曹伟 张鸿海 周学夫 江福祥 
国家教委博士点基金
本文给出了一种基于隧道效应的原子力显微镜的设计，以及部分测试结果。机械部分利用了金属的弹性变形，研制出的机械定位机构可在毫米级的范围内达到亚纳米级的定位分辨率。初步的实验表明，这是一种结构简单、刚性好、操作方便的多模...
关键词：原子力显微镜 隧道效应 分辨率 隧道电流 纳米级 机械定位 定位机构 弹性变形 扫描隧道显微镜 工作模态 
扫描隧道显微镜数字控制及图像系统
《仪器仪表学报》1995年第S1期206-210,共5页周学夫 张鸿海 曹伟 李文菊 
国家自然基金;国家教委博士点基金
本文介绍了扫描隧道显微镜实时数据采集、控制及图像系统。该系统由３８６微机与高性能专用接口电路及软件组成，可实现ＳＴＭ实时数字反馈控制及成像。提供了强大的数据处理、图像处理及表面分析与特征提取功能。试验表明该系统性能稳...
关键词：扫描隧道显微镜 数字控制 反馈控制 图像处理 接口电路设计 数据处理 扫描速度 实时数据采集 图像系统 特征提取 
一个正在兴起的交叉工程学科一纳米工程被引量：1
《仪器仪表学报》1995年第S1期18-22,共5页师汉民 张鸿海 戴道文 曹伟 
国家自然基金
此文指出，今天各工程领域向纳米级、亚纳米级微观世界进军的洪流中，正在孕育出一个新的交叉工程学科一纳米工程。论述了它所面临的困难，也指出了其辉煌的前景。
关键词：交叉工程 生物芯片 纳米工程 纳米级 纳米尺度 原子操作 工程学科 生物计算机 表面粗糙度 电子器件 
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