具有宽测量范围的扫描探针显微镜  

Scanning Probe Microscope with Wide Measuring Range

作　　者：张鸿海[1] 李文菊[1] 周学夫[1] 曹伟[1] 

机构地区：[1]华中理工大学

出　　处：《仪器仪表学报》1995年第S1期138-142,共5页Chinese Journal of Scientific Instrument

基　　金：国家自然基金;国家教委博士点基金

摘　　要：本文介绍了具有宽测量范围（１４０×１４０μｍ２）的高灵敏度扫描探针显微镜，它能对Φ１３０ｍｍ的磁盘、光盘表面纳诺形貌和集成电路芯片光刻质量等进行多模式测量。本文给出了部分试验结果，如高定向石墨的原子图像与光栅和超精密磨削试件表面的纳米级形貌图。Abstract The paper presents a scanning probe microscope with high sensitivity andwide measuring range(140×140μm2),which can measure the nanotophgraphy of substrateof magnetic disk and opticai disk,the lithgraphy quality of IC chips with the multiple mode.Some experimental results such as the atomic image of HOPG,the nanoscale topography ofgrating and superprecision ground surface are given in this paper.

关 键 词：宽测量范围 扫描探针显微镜 力传感器 超精密磨削 高定向石墨 扫描热显微镜 电子反馈回路 隧道电流 测量原理 隧道结 

分 类 号：TH742[机械工程—光学工程]