基于隧道效应的原子力显微镜的研制  

The Design of a Tunnel Current Controlled Atomic Force Microscope

作　　者：曹伟[1] 张鸿海[1] 周学夫[1] 江福祥[1] 

机构地区：[1]华中理工大学

出　　处：《仪器仪表学报》1995年第S1期143-147,共5页Chinese Journal of Scientific Instrument

基　　金：国家教委博士点基金

摘　　要：本文给出了一种基于隧道效应的原子力显微镜的设计，以及部分测试结果。机械部分利用了金属的弹性变形，研制出的机械定位机构可在毫米级的范围内达到亚纳米级的定位分辨率。初步的实验表明，这是一种结构简单、刚性好、操作方便的多模态、多功能原子力显微镜。Abstract The paper gives out the design of a tunnel current controlled Atomic ForceMicroscope and some of its measuring results.This AFM contains two micro-positionerswhich have subnano resolution in the range of several millimeters,and is proved to be a sim-ply structured multifuctional AFM.

关 键 词：原子力显微镜 隧道效应 分辨率 隧道电流 纳米级 机械定位 定位机构 弹性变形 扫描隧道显微镜 工作模态 

分 类 号：TH742[机械工程—光学工程]