用于纳米制造具有xyz微定位的扫描探针显微镜  

作　　者：张鸿海[1] 曹伟[1] 师汉民[1] 陈日曜[1] 

机构地区：[1]华中理工大学

出　　处：《仪器仪表学报》1996年第S1期381-381,共1页Chinese Journal of Scientific Instrument

基　　金：国家自然基金

摘　　要：用于纳米制造具有ｘｙｚ微定位的扫描探针显微镜张鸿海，曹伟，师汉民，陈日曜（华中理工大学）扫描探针显微镜已广泛用于纳米级尺度的检测，同时也能用于在半导体表面上产生纳米级的结构，即用于纳米级的制造技术。尽管纳米制造可用成像的ＳＰＭ来实现，但二者的设计要求...

关 键 词：纳米制造 微定位器 扫描探针显微镜 行走机构 纳米级 高定向石墨 位移分辨率 表面成像 制造技术 华中理工大学 

分 类 号：TH742[机械工程—光学工程]