国内力敏传感器的研究进展  被引量:1

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作  者:张桂成[1] 

机构地区:[1]中科院上海冶金研究所

出  处:《传感技术学报》1992年第1期38-42,共5页Chinese Journal of Sensors and Actuators

摘  要:近年来,国内力学量传感器的研究与应用已有较大进展,研究内容不断深入,研究范围不断拓宽,器件结构新颖,性能与可靠性有所提高,使应用领域再行扩大.

关 键 词:力学量传感器 力敏传感器 研究进展 器件结构 器件性能 

分 类 号:TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]

 

参考文献:

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