力学量传感器

作品数:11被引量:21H指数:2
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相关机构:天津大学株式会社电装大日本印刷株式会社西北工业大学更多>>
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石墨烯谐振式力学量传感器研究进展被引量:6
《物理学报》2022年第12期89-105,共17页万震 李成 刘宇健 宋学锋 樊尚春 
国家自然科学基金(批准号:62173021);北京市自然科学基金(批准号:4212039);航空科学基金(批准号:2020Z073051002);深圳市科技创新委员会(批准号:JCYJ20180504165721952)资助的课题。
传统谐振式传感器的谐振敏感元件大多采用金属、石英晶体、硅等材料制成,但随着谐振式传感器朝着小型化、微型化、实用化的趋势发展,不但要求新型谐振子材料可进行微纳加工,还对其灵敏度和精度提出了更高的要求.石墨烯这种新型二维纳米...
关键词:石墨烯 谐振 力学量传感器 性能分析 
用三维MEMS力学量传感器对涌浪微观形态测量的研究被引量:1
《传感技术学报》2006年第05A期1509-1511,共3页徐克宝 王军成 陈广庆 高丽丽 李小波 
涌浪的形态对舰船驾驶航行、渔业生产、海洋作业和堤坝设施等具有很大的影响.对海浪的形态研究在军事、水上交通、海洋工业、渔业和民生方面都具有特殊的意义.MEMS力学量传感器是一种环境适应能力极强的微机电器件,用三维MEMS力学量传...
关键词:MEMS涌浪 微观形态 形态跟踪 动态分析 
用于苛刻环境条件下的传感器的现状和发展趋势被引量:1
《计量与测试技术》2005年第7期9-11,共3页李策 
简要介绍了用于苛刻环境条件下的传感器的种类,包括力学量传感器、温度传感器、气体传感器、光纤传感器等;对这类传感器的市场状况、目前的研制现状及未来发展趋势等也作了相应介绍。
关键词:发展趋势 环境条件 力学量传感器 温度传感器 气体传感器 光纤传感器 市场状况 研制现状 
真空微电子加速度传感器结构的有限元分析被引量:2
《微纳电子技术》2003年第7期292-294,301,共4页彭述成 温志渝 温中泉 潘银松 李霞 
"8 63"计划MEMS重大专项资助 (2 0 0 2AA 2 A16);教育部科学技术研究重大项目资助 (0 2 16)
论述了真空微电子加速度传感器的结构及工作原理 ,应用有限元方法对加速度传感器进行了静力学和动力学分析 ,拟合出悬臂梁的长宽厚与质量块最大位移量的关系曲线和谐振频率的关系曲线以及质量块受迫振动的谐响应曲线。
关键词:真空微电子 加速度传感器 结构 有限元分析 场致发射 力学量传感器 工作原理 
新型谐振式硅微机械加速度计被引量:7
《纳米技术与精密工程》2003年第1期34-37,共4页钟莹 张国雄 李醒飞 
国家自然科学基金资助项目(50275108)
制作出一种新型结构的谐振式硅微加速度计,其输出频率信号可以克服微机电系统器件输出微弱信号检测的困难.采用双端固定音叉作为谐振器,在加速度作用下,质量块的惯性力通过悬臂梁施加于音叉轴向,利用音叉谐振频率的变化测量加速度.在每...
关键词:谐振器 加速度测量 力学量传感器 硅微机械加工 加速度计 结构设计 仿真估算 体硅工艺 
硅应变计的氮化硅钝化新技术被引量:1
《传感器技术》2000年第6期40-41,共2页钱静波 李丹 
介绍一种硅应变计,通过使用同种材料、采用两种不同的工艺技术对比试验,测试结果表明,氮化硅钝化技术制造的产品性能优于常规半导体技术制作的同类产品。
关键词:硅应变计 氮化硅钝化 半导体 力学量传感器 
声表面波谐振式力学量传感器的发展与现状被引量:2
《传感器技术》2000年第5期1-3,共3页陈明 王玮 
扼要回顾了国内外在声表面波力学量传感器方面一些重要的成就 ,阐述了声表面波力学量传感器的特点、基本工作原理 ,简单推导了该传感器输入 -输出关系 ,并对声表面波其他传感器作了介绍。
关键词:声表面波 力学量传感器 谐振式 
高分子功能材料及在传感器中的应用──力学量传感器(连载五)
《传感器技术》1997年第5期61-64,共4页卢崇考 
首先介绍了高分子压电材料PVDF的晶体结构及性能,在此基础上又介绍了高分子音频用传感器、超声波传感器、机器人用传感器等的应用情况.
关键词:机器人 PVDF材料 高分子功能材料 传感器 
常用力学量传感器数值设计方法
《合肥工业大学学报(自然科学版)》1993年第3期73-78,共6页徐科军 马文 
国家自然科学基金
采用数值计算方法,分析常用力学量传感器的应力场分布;采用计算机辅助设计,确定最佳方案、编制专用软件,对若干种传感器进行研究,证实了此方法的有效性。
关键词:力传感器 数值计算 CAD 
声敏传感器及其实用电路(二)
《电声技术》1992年第4期27-31,共5页张福学 
六、前置放大器电路 1.加速度传感器压电加速度传感器能够产生跟压电元件上施加的加速度成比例的电荷,可认为压电元件是跟电容器并联连接的高电阻器,图1示出等效电路。这种加速度传感器是电容性的,其输出阻抗非常高,而输出电压通常是低...
关键词:声敏传感器 电路 力学量传感器 
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