云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 真空微电子

真空微电子: 作品数：196被引量：206H指数：6; 导出分析报告; 相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>; 相关作者：夏善红朱长纯温志渝罗恩泽温中泉更多>>; 相关机构：中国科学院电子学研究所西安交通大学重庆大学东南大学更多>>; 相关期刊：更多>>; 相关基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家教育部博士点基金国家重点基础研究发展计划更多>>

微型化真空泵技术: 《真空》2023年第4期54-59,共6页李兴辉杜婷韩攀阳陈海军蔡军冯进军; 国家自然科学基金重点项目资助(61831001)。; 微型化真空泵对于微机电系统和真空微电子器件的真空封装极具意义。本文从工作原理和工艺实现方面,分析了常见传统真空泵实现微型化的可行性,介绍了膜片泵、射流/扩散泵、努森泵和离子泵的微型化进展,并总结了当前存在的技术障碍。结果...; 关键词：微机电系统真空微电子器件真空泵微封装微型化

平面型硅阴极发射稳定性研究: 《功能材料与器件学报》2022年第5期448-452,共5页史东方刘梦李铁王跃林; 国家自然科学基金青年科学基金项目(62104242);上海市青年科技英才扬帆计划(20YF1456500); 平面电子管器件的阴极发射稳定性、可持续性和可靠性是器件实际应用前需要解决的关键问题。本文对空气和真空环境中平面型硅阴极的长时间发射特性进行了系统的测量和分析。实验结果发现,在空气环境中,阴极存在一个约1 h的电流稳定过程,...; 关键词：阴极平面电子管稳定性真空微电子学场发射

硅尖阵列的制备及其在真空微电子加速度计中的应用(英文)被引量：1: 《强激光与粒子束》2015年第2期74-78,共5页李东玲尚正国王胜强温志渝; supported by Key Laboratory Open Fund of Ultra Precision Machining Technology of CAEP(KF13006);Research Fund for the Doctoral Program of Higher Education of China(20120191120022); 针对微电子器件,提出了一种简单、低成本、便于批量加工的硅尖阵列制备方法。分析了各向异性和各向同性湿法腐蚀的特点,研究了不同腐蚀液中硅尖的形成机理和腐蚀速率,采用扫描电子显微镜(SEM)观测硅尖形貌。结果表明:在质量分数40%KOH...; 关键词：硅尖阵列湿法腐蚀氧化锐化真空微电子加速度计

真空微电子三极管优化设计: 《商品与质量（学术观察）》2013年第8期134-134,共1页贾姝娟顾春禄; 真空微电子学既是新兴学科、又是交叉学科，是目前国内外电子学研究的主要课题之一。我国的真空微电子学课题自80年代初被提上日程起，不断取得新的研究成果，为我国的现代工业发展贡献了力量。在这其中，真空微电子三极管作为一个研究...; 关键词：真空微电子三极管优化设计电脑模拟

一种新型低噪声真空微电子加速度计的接口ASIC(英文)被引量：1: 《传感技术学报》2012年第7期911-916,共6页刘海涛温志渝陈李温中泉贺学峰; 国家863计划(2008AA04Z310);重庆市科技攻关计划项目(2008AC2006); 真空微电子加速度计基于隧道效应而工作,其内部固有的低频噪声(如1/f噪声)大大降低其信噪比,而且也是影响精度和线性度的主要因素。采用混频技术和相关检测算法,本文研制和设计了一种新型低噪声接口ASIC(专用集成电路)。最后测试了加速...; 关键词：真空微电子 ASIC 低噪声混频相关检测

真空微电子加速度传感器闭环控制模型仿真与实现: 《压电与声光》2012年第2期222-225,共4页范金焰温志渝陈李温中泉刘海涛; 为提高真空微电子加速度传感器的线性度,提出了基于数字PID控制算法的真空微电子加速度传感器闭环控制方法。建立了真空微电子加速度传感器闭环控制模型,进行仿真分析。设计制作以TMS320VC5416DSP为核心的控制电路,实现了真空微电子加...; 关键词：加速度传感器真空微电子闭环控制

有关真空微电子学的研究及相关应用: 《读写算（教育教学研究）》2011年第44期41-41,共1页卓玛才让; 作者针对真空微电子学做了一些理论和实践的探讨，主要包括发射材料，并对其应用进行了全面的介绍。; 关键词：真空微电子学应用

Fabrication and field emission performance of arrays of vacuum microdiodes containing CuO nanowire emitters grown directly on glass without a catalyst被引量：1: 《Chinese Science Bulletin》2011年第9期906-911,共6页SHAO PengRui DENG ShaoZhi CHEN Jun XU NingSheng; supported by the National Natural Science Foundation of China (U0634002 and 50725206);the National Basic Research Program of China (2003CB314701, 2007CB935501, 2010CB327703 and 2008- AA03A314),the Science and Technology Department of Guangdong Province, the Department of Information Industry of Guangdong Province, and the Science and Technology Department of Guangzhou City; 真空 microelectronic 来源的数组用含铜的氧化物(CuO ) 在玻璃底层上被制作 nanowire emitters。电子来源的数组拥有 microdiode 结构，它能有效地导致域排放并且在三极管类型设备操作控制射出的电子的交货到阳极。为没有使用催化剂并...; 关键词：真空微电子器件场发射性能纳米线氧化铜催化剂阵列排放玻璃

柔性冷阴极新进展: 《光学与光电技术》2010年第6期74-74,共1页; 由于在场致电子发射平板显示器、电子枪、X射线放射治疗、微波放大器件等真空微电子器件中具有重要的运用，因此基于准一维纳米材料冷阴极的研究引起了人们极大的研究兴趣。其中，由于在可卷曲场致电子发射平板显示器和柔性电子器件中...; 关键词：柔性电子器件冷阴极真空微电子器件场致电子发射平板显示器一维纳米材料放射治疗电子枪

集成真空电子学被引量：15: 《真空电子技术》2010年第2期1-7,共7页冯进军; 本文简述了集成真空电子学的基本概念和研究内容,综述了国内外集成真空电子学,利用微加工的太赫兹真空器件的发展状况,对相关的技术进行了分析和评述。; 关键词：太赫兹集成真空电子学微加工真空微电子学微波管 LIGA技术

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