范金焰

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真空微电子加速度传感器闭环控制模型仿真与实现
《压电与声光》2012年第2期222-225,共4页范金焰 温志渝 陈李 温中泉 刘海涛 
为提高真空微电子加速度传感器的线性度,提出了基于数字PID控制算法的真空微电子加速度传感器闭环控制方法。建立了真空微电子加速度传感器闭环控制模型,进行仿真分析。设计制作以TMS320VC5416DSP为核心的控制电路,实现了真空微电子加...
关键词：加速度传感器 真空微电子 闭环控制 
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