真空微电子加速度传感器结构的有限元分析  

Finite element analysis on vacuum microelectronic acceleration sensor

作　　者：彭述成[1] 温志渝[1] 温中泉[1] 潘银松[1] 李霞[1] 

机构地区：[1]重庆大学光电工程学院微系统实验室,重庆400044

出　　处：《微纳电子技术》2003年第7期292-294,301,共4页Micronanoelectronic Technology

基　　金："8 63"计划MEMS重大专项资助 (2 0 0 2AA 2 A16);教育部科学技术研究重大项目资助 (0 2 16)

摘　　要：论述了真空微电子加速度传感器的结构及工作原理 ,应用有限元方法对加速度传感器进行了静力学和动力学分析 ,拟合出悬臂梁的长宽厚与质量块最大位移量的关系曲线和谐振频率的关系曲线以及质量块受迫振动的谐响应曲线。The theory of the vacuum microelectronic acceleration sensor and the corresponding structures and the mechanisms are discussed through the finite element method to analyze the static and kinetic behavior of the processed mass. The results of the relation curves describe the relationships of the dimensions vs maximum motion of the mass, the dimensions vs resonant frequency, the forced vibration responding of the mass. All these analysis are helpful to design such acceleration sensors.

关 键 词：真空微电子 加速度传感器 结构 有限元分析 场致发射 力学量传感器 工作原理 

分 类 号：TP212.12[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]