日本半导体制造设备市场一瞥  

作　　者：王毅[1] 

机构地区：[1]航天总公司西安微电子技术研究所,西安710000

出　　处：《微电子技术》1994年第2期48-54,共7页Microelectronic Technology

摘　　要：简要介绍1991年以来日本半导体制造设备市场的概况，CVD设备、清洗设备、半导体测试设备市场的困境与发展潜力。预计日本半导体制造设备市场还会平淡一段时间，但有些设备的出口潜力很大。

关 键 词：半导体 制造设备 市场 日本 

分 类 号：F431.366[经济管理—产业经济]