王毅

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MCM用的介质材料及其成膜技术
《微电子技术》1994年第6期30-36,61,共8页王毅 
本文介绍MCM对介质材料的一般要求,不同MCM使用的介质及其成膜技术,重点介绍以聚酰亚胺为代表的有机介质材料的性能及其相关制造技术。
关键词:多芯片组件 介质材料 成膜 
日本半导体制造设备市场一瞥
《微电子技术》1994年第2期48-54,共7页王毅 
简要介绍1991年以来日本半导体制造设备市场的概况,CVD设备、清洗设备、半导体测试设备市场的困境与发展潜力。预计日本半导体制造设备市场还会平淡一段时间,但有些设备的出口潜力很大。
关键词:半导体 制造设备 市场 日本 
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