特气气瓶柜吹洗系统  

A Purging System for Special-Gas Cabinet

作　　者：李晓峰[1] 

机构地区：[1]四川重庆电子工业部第24研究所

出　　处：《微电子学》1994年第5期57-63,共7页Microelectronics

摘　　要：气瓶柜是处理半导体特殊气体的重要装置。本文着重介绍了半导体气瓶柜吹洗系统的结构特点、设计要求，以及气体处理技术和安全操作。Gas cabinet is an important unit used to handle special gases for semiconductor pro- cess. In this paper,a purging device for gas cabinet used in semiconductor process is described,in terms of the structural features,design requirements and gas handling techniques as well as opera- tion safety measures.

关 键 词：气瓶柜 吹洗系统 循环吹洗法 半导体 

分 类 号：TN305.99[电子电信—物理电子学]