李晓峰

作品数：3被引量：4H指数：1
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质量流量计流量误差分析被引量：2
《微电子学》1997年第2期102-106,共5页李晓峰 
质量流量计（ＭＦＣ）广泛用于微电子工艺气体的流量控制。硅片制造工艺水平通常取决于对工艺过程中气体流量的精确控制。目前在线使用的质量流量计对工艺过程有较大影响，包括质量流量计的设计缺陷和外围条件的影响。现代工艺水平对质...
关键词：质量流量计 流量计 误差分析 
CVD工艺尾气处理系统
《微电子学》1995年第3期35-39,共5页李晓峰 
本文就ＣＶＤ工艺尾气处理进行了详细的介绍，并着重对ＣＶＤ工艺尾气处理ＣＤＯ系统的反应机理、构造及使用进行了分析和讨论。
关键词：半导体 工艺 化学气相淀积 尾气处理 
特气气瓶柜吹洗系统被引量：2
《微电子学》1994年第5期57-63,共7页李晓峰 
气瓶柜是处理半导体特殊气体的重要装置。本文着重介绍了半导体气瓶柜吹洗系统的结构特点、设计要求，以及气体处理技术和安全操作。
关键词：气瓶柜 吹洗系统 循环吹洗法 半导体 
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