Bulk-Silicon Resonant Accelerometer  

一种新型体硅谐振加速度计(英文)

作　　者：贾玉斌[1] 郝一龙[1] 张嵘[2] 

机构地区：[1]北京大学微电子研究所,北京100871 [2]清华大学精密仪器系,北京100084

出　　处：《Journal of Semiconductors》2005年第2期281-286,共6页半导体学报（英文版）

基　　金：国家高技术研究发展计划资助项目 (批准号 :2 0 0 2AA43 0 0 2 0 )~~

摘　　要：Resonant accelerometer is designed,which includes two double-ended tuning forks,a proof mass,four-leverage system amplifying inertial force,and drive/sense combs.Each tuning fork is electrostatically actuated and sensed at resonance using comb electrodes.The device is fabricated using MEMS bulk-silicon technology,whose sensitive degree is 27 3Hz/g,and the resolution is 167 8μg.设计了一种谐振加速度计 .这种加速度计包括两个双端固定音叉、一个质量块、四套放大惯性力的杠杆系统以及激励和敏感梳 .利用梳状电极每个音叉被静电激励和敏感 .利用MEMS体硅工艺研制了这种新型加速度计 ,测试的灵敏度为 2 7 3Hz/ g ,分辨率为 16 7 8μg .

关 键 词：MEMS accelerometer resonant driving and sensing bulk-silicon process frequency shift 

分 类 号：TH824.3[机械工程—仪器科学与技术]