贾玉斌

作品数:18被引量:59H指数:5
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供职机构:北京大学信息科学技术学院微米纳米加工技术国家重点实验室更多>>
发文主题:加速度计电极MEMS光开关谐振更多>>
发文领域:机械工程电子电信自动化与计算机技术电气工程更多>>
发文期刊:《传感技术学报》《光学精密工程》《光学学报》《Journal of Beijing Institute of Technology》更多>>
所获基金:国家高技术研究发展计划国家重点实验室开放基金国家自然科学基金武器装备预研基金更多>>
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微加速度计冲击可靠性及防护被引量:6
《传感技术学报》2010年第12期1690-1694,共5页王世涛 贾玉斌 张斌珍 黄钦文 郝一龙 
电子元器件可靠性物理及其应用技术国家级科技重点实验室开放基金资助(ZHD201004)
通过实验研究了梳齿电容微加速度计器件在大过载冲击下的失效模式,发现了失效的主要原因是由于弹性梁的断裂,并对实验现象进行了分析和讨论,指出了微加工工艺的不确定性对器件失效的影响。检验了在结构设计中对可动质量块进行限位的作用...
关键词:微加速度计 可靠性 冲击 缓冲材料 金属橡胶 
硅微机械音叉式谐振器被引量:7
《仪器仪表学报》2005年第8期782-785,共4页钟莹 张国雄 郝一龙 贾玉斌 
国家自然科学基金项目(50275108)资助。
应用体硅微机械加工技术,制作了一种双端固定音叉式谐振器。它在音叉的两个臂上连接了梳齿电容结构,用来驱动音叉臂在硅片平面内侧向、反相振动,同时检测音叉的振动频率。当驱动力的频率等于音叉的固有频率时,音叉产生谐振。此时,检测...
关键词:微机电系统 音叉 谐振器 加速度计 体硅工艺 
全电极脊形波导光传输特性(英文)被引量:2
《光子学报》2005年第7期984-987,共4页贾玉斌 
给出一种较为简便的全电极脊形波导的分析方法,即采用有效折射率方法把此金属包层脊形波导化成一个二维等效平板波导,然后利用微分法得到模的有效折射率满足的方程和吸收损耗系数的解析表达式.作为一个特例,用这种方法对SiO2全电极脊形...
关键词:光波导 金属包层 吸收损耗 有效折射率 
两个非平行波导间的能量转换(英文)
《光子学报》2005年第6期852-856,共5页贾玉斌 郝一龙 
提出一种分析非平行波导间耦合的简明方法耦合系数推广法.利用这种方法,导出一种新的非平行双波导的耦合方程,由此得到一组非平行波导耦合的完美的分析解,依据这些分析解可以优化非平行波导的传输距离、输入/输出端口波导间距和夹角.
关键词:平行 能量转换 输入/输出端口 耦合系数 耦合方程 波导耦合 传输距离 分析解 
三个非平行波导间的耦合被引量:5
《光学学报》2005年第9期1161-1165,共5页贾玉斌 
提出一种分析非平行波导的简明方法———耦合系数推广法,把非平行波导几何图形的变化直接转化成波导耦合系数中波导间距的变化,即对耦合系数进行了巧妙的推广,把波导间距的变化以指数的形式潜入到耦合微分方程中,建立了非平行三波导系...
关键词:集成光学 非平行波导 耦合方程 能量转换 
Bulk-Silicon Resonant Accelerometer被引量:3
《Journal of Semiconductors》2005年第2期281-286,共6页贾玉斌 郝一龙 张嵘 
国家高技术研究发展计划资助项目 (批准号 :2 0 0 2AA43 0 0 2 0 )~~
Resonant accelerometer is designed,which includes two double-ended tuning forks,a proof mass,four-leverage system amplifying inertial force,and drive/sense combs.Each tuning fork is electrostatically actuated and sens...
关键词:MEMS accelerometer resonant driving and sensing bulk-silicon process frequency shift 
Fabrication and Characterization of Tunneling Current of Anodic Bonded Dry-Etched MEMS Tunneling Accelerometer被引量:1
《Journal of Semiconductors》2004年第12期1606-1611,共6页董海峰 郝一龙 贾玉斌 闫桂珍 王颖 李婷 
A tunneling accelerometer is fabricated and characterized based on the extension of the silicon-glass anodic-bonding and deep etching releasing process provided by Peking University.The tunneling current under open lo...
关键词:tunneling effect ACCELEROMETER MEMS  EEACC:0580 7280 2575 
体硅隧道加速度计被引量:1
《纳米技术与精密工程》2004年第1期29-31,共3页贾玉斌 董海峰 郝一龙 
为了降低成本 ,拓展隧道加速度计的应用 ,作者设计了一种隧道加速度计 .对器件进行体硅工艺研究 ,结果为 :隧尖尺寸为 0 .0 2 μm× 0 .0 2 μm ,隧道电流为 1.14nA~ 4.68nA .
关键词:微机电系统 隧道电流 加速度计 体硅工艺 隧尖尺寸 
一种新型谐振加速度计被引量:3
《光学精密工程》2004年第z1期284-287,共4页贾玉斌 郝一龙 张嵘 
国家高技术研究发展计划863项目(No.2002AA430020);武器装备预研项目(No.41318.8.8.1.2)资助.
描述了一种新的谐振加速度计,这种加速度计由1个质量块、2个谐振音叉和一套由锚点支撑的弯曲杠杆系统组成.在加速度的作用下,一个音叉受到轴向拉力的作用频率变大;另一个音叉受到轴向压力的作用频率变小.杠杆系统放大了由加速度引起的...
关键词:微机械加速度计 谐振块硅 
MEMS隧道加速度计的系统分析与设计被引量:6
《微纳电子技术》2003年第7期295-297,共3页董海峰 贾玉斌 郝一龙 
主要论述了一种新型体硅工艺MEMS隧道加速度计的系统分析与设计 ,对加速度计敏感头与伺服反馈电路组成的系统进行系统建模 ,其中包含了结构的模型和反馈控制电路的模型。以系统模型作为基础 ,分析了器件工作所必须的条件 ,对器件的结构...
关键词:MEMS 隧道加速度计 系统分析 设计 微机电系统 隧道原理 
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