一种新型谐振加速度计  

Micromachined resonant bulk-silicon accelerometer

作　　者：贾玉斌[1] 郝一龙[1] 张嵘[1] 

机构地区：[1]北京大学,微电子研究院,北京,100871 清华大学,精仪系,北京,100084 　

出　　处：《光学精密工程》2004年第z1期284-287,共4页Optics and Precision Engineering

基　　金：国家高技术研究发展计划863项目(No.2002AA430020);武器装备预研项目(No.41318.8.8.1.2)资助.

摘　　要：描述了一种新的谐振加速度计,这种加速度计由1个质量块、2个谐振音叉和一套由锚点支撑的弯曲杠杆系统组成.在加速度的作用下,一个音叉受到轴向拉力的作用频率变大;另一个音叉受到轴向压力的作用频率变小.杠杆系统放大了由加速度引起的轴向力,使加速度灵敏度提高.这种加速度计可以用微机械体硅工艺来制作.实验研制的加速度计灵敏度为27.3 Hz/g,分辨率为167.8μg.

关 键 词：微机械加速度计 谐振块硅 

分 类 号：TH824.4[机械工程—仪器科学与技术]