检索规则说明:AND代表“并且”;OR代表“或者”;NOT代表“不包含”;(注意必须大写,运算符两边需空一格)
检 索 范 例 :范例一: (K=图书馆学 OR K=情报学) AND A=范并思 范例二:J=计算机应用与软件 AND (U=C++ OR U=Basic) NOT M=Visual
机构地区:[1]西安电子科技大学机电工程学院
出 处:《电气时代》2005年第3期66-67,共2页Electric Age
摘 要:针对MOCVD系统中,不同配方的生长工艺要求不同循环位置及次数的特点,移位控制步序与网络判断相结合的PLC循环控制策略,具有灵活、准确、可靠等特点,较好地满足了工艺的要求。
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