MOCVD系统中的在位实时监测──自动光度椭偏仪的应用  

作　　者：张国义[1] 高伟[1] 刘刚[1] 

机构地区：[1]北京大学物理系

出　　处：《稀有金属》1994年第2期133-137,149,共6页Chinese Journal of Rare Metals

摘　　要：提出了一种用于ＭＯＣＶＤ系统在位实时监测的快速、自动、旋转检偏式激光椭偏仪（ＲＡＥ）。这种椭偏仪可由常规手动消光椭偏仪改装而成。阐述了它的工作原理、数据采集方法和数据处理程序。最后讨论了与ＭＯＣＶＤ生长过程的在位实时监测有关的问题。如光学窗口、反应器管壁沉积物及其它误差来源。

关 键 词：MOCVD系统 实时监测 光度椭偏仪 

分 类 号：TN304.054[电子电信—物理电子学]